Chemical and Complementary Role of Fluorine in a Chlorine Based Reactive Ion Etching of GaN

F. Karouta, B. Jacobs, O. Schön, M. Heuken

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

6 Citaten (Scopus)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Chemical and Complementary Role of Fluorine in a Chlorine Based Reactive Ion Etching of GaN'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Chemistry

Material Science

Chemical Engineering