Characterization method for mechanical properties of thin freestanding metal films for RF-MEMS

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

72 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Characterization method for mechanical properties of thin freestanding metal films for RF-MEMS'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Engineering

Material Science