Cavity ring down spectroscopy for the detection of hydrocarbon radicals during a-C:H deposition

K.G.Y. Letourneur, M.C.M. Sanden, van de, R.A.H. Engeln, M.G.H. Boogaarts, D.C. Schram

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Originele taal-2Engels
TitelPresentation at the AVS, American Vacuum Society : 46th international symposium, Seattle, October 25-29, 1999 : virtual proceedings
Pagina'sPS-TuA7-
StatusGepubliceerd - 1999
Evenement46th International Symposium American Vacuum Society - Seattle, Verenigde Staten van Amerika
Duur: 25 okt 199929 okt 1999

Congres

Congres46th International Symposium American Vacuum Society
Verkorte titelAVS 46
Land/RegioVerenigde Staten van Amerika
StadSeattle
Periode25/10/9929/10/99

Citeer dit