Cavity ring down spectroscopy as a probe for hydrocarbon radicals during a-C:H deposition

K.G.Y. Letourneur, R.A.H. Engeln, M.G.H. Boogaarts, M.C.M. Sanden, van de, D.C. Schram

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Originele taal-2Engels
TitelProceedings of the CIP '99, 12th International Colloquium on Plasma Processes : June 6 - 10, 1999, Antibes - Juan-les-Pins, France
Plaats van productieParis
UitgeverijSociété Française du Vide
Pagina's12-15
StatusGepubliceerd - 1999
EvenementCIP '99 : International Colloquium on Plasma Processes ; 12 - Juan-les-Pins
Duur: 6 jun. 199910 jun. 1999

Publicatie series

NaamVide: Science, Technique et Applications
Volume291
ISSN van geprinte versie1266-0167

Congres

CongresCIP '99 : International Colloquium on Plasma Processes ; 12
StadJuan-les-Pins
Periode6/06/9910/06/99
Ander

Citeer dit