Cavity ring down absorption spectroscopy : a versatile diagnostic for studies of plasma and surface chemistry processes in deposition plasmas

M.C.M. van de Sanden, J. Benedikt, M.G.H. Boogaarts, R.A.H. Engeln, J.P.M. Hoefnagels, W.M.M. Kessels, K.G.Y. Letourneur, D.C. Schram, A.H.M. Smets

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Originele taal-2Engels
TitelCIP'2001 proceedings : 13th International colloquium on plasma processes, June 10-14, 2001, Antibes - Juan-les-Pins, France
Plaats van productieParis
UitgeverijSociété Française du Vide
Pagina's43-48
StatusGepubliceerd - 2001
Evenement13th International Colloquium on Plasma Processes (CIP 2001) - Antibes, Frankrijk
Duur: 10 jun 200114 jun 2001

Publicatie series

NaamLe vide
NummerNumero special
Volume(2001)
ISSN van geprinte versie1266-0167

Congres

Congres13th International Colloquium on Plasma Processes (CIP 2001)
Verkorte titelCIP'2001
LandFrankrijk
StadAntibes
Periode10/06/0114/06/01

Citeer dit

van de Sanden, M. C. M., Benedikt, J., Boogaarts, M. G. H., Engeln, R. A. H., Hoefnagels, J. P. M., Kessels, W. M. M., Letourneur, K. G. Y., Schram, D. C., & Smets, A. H. M. (2001). Cavity ring down absorption spectroscopy : a versatile diagnostic for studies of plasma and surface chemistry processes in deposition plasmas. In CIP'2001 proceedings : 13th International colloquium on plasma processes, June 10-14, 2001, Antibes - Juan-les-Pins, France (blz. 43-48). (Le vide; Vol. (2001), Nr. Numero special). Société Française du Vide.