Calibration of displacement sensors with nanometer accuracy using a measuring laser

S.F.C.L. Wetzels, P.H.J. Schellekens

    Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

    Originele taal-2Engels
    TitelProceedings 4th international IMEKO symposium on laser metrology for precision measurement and inspection in industry, Lyngby, Denmark, October 21-22, 1996 / Ed. L. DeChiffre
    RedacteurenL. DeChiffre
    Plaats van productieLyngby
    UitgeverijTechnical University of Denmark
    Pagina's91-100
    StatusGepubliceerd - 1996

    Citeer dit