Boride-enhanced diffusion in silicon: bulk and surface layers

N.E.B. Cowern, M.J.J. Theunissen, F. Roozeboom, J.G.M. Van Berkum

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

34 Citaten (Scopus)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Boride-enhanced diffusion in silicon: bulk and surface layers'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Fysica en Astronomie