Beyond decentralized wafer/reticle stage control design: a double-Youla approach for enhancing synchronized motion

E. Evers (Corresponding author), Marc van de Wal, Tom Oomen

Control Systems Technology

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Tijdschriftartikel › Academic › peer review

20 Citaten (Scopus)

303 Downloads (Pure)

20 Citaties
1 Congresartikel

1 resultaten

2017
Synchronizing decentralized control loops for overall performance enhancement : a Youla framework applied to a wafer scanner
Evers, E., van de Wal, M. M. J. & Oomen, T. A. E., 18 okt. 2017, In: IFAC-PapersOnLine. 50, 1, blz. 10845-10850 6 blz.
Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Congresartikel › peer review

Open Access
Bestand
6 Citaten (Scopus)

193 Downloads (Pure)