Vingerafdruk
Duik in de onderzoeksthema's van 'Beyond decentralized wafer/reticle stage control design: a double-Youla approach for enhancing synchronized motion'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.- Sorteer per
- Gewicht
- Alfabetische volgorde
Beyond decentralized wafer/reticle stage control design: a double-Youla approach for enhancing synchronized motion
E. Evers (Corresponding author), Marc van de Wal, Tom Oomen
Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Tijdschriftartikel › Academic › peer review
20
Citaten
(Scopus)
303
Downloads
(Pure)