Bayesian optimization for lithography process control strategy selection: optimal control advisor

Sila Güler

    Onderzoeksoutput: ScriptiePd Eng Thesis

    46 Downloads (Pure)
    Originele taal-2Engels
    Begeleider(s)/adviseur
    • Schoukens, Maarten, Begeleider
    Plaats van publicatieEindhoven
    Uitgever
    StatusGepubliceerd - 2020

    Bibliografische nota

    PdEng thesis.

    Citeer dit