Batch size optimisation of a furnace and pre clean area by using dynamic simulation

H.J.A. Rulkens, E.J.J. Campen, van, J. Herk, J.E. Rooda

    Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

    Originele taal-2Engels
    TitelSemiconductor manufacturing : meeting the challenges of the global marketplace : ASMC 98 proceedings / 1998 IEEE/SEMI advanced semiconductor manufacturing conference and workshop, September 23-25, 1998, Boston, Massachusetts
    Plaats van productieMountain View, California
    UitgeverijSEMI
    ISBN van geprinte versie0-7803-4380-8
    DOI's
    StatusGepubliceerd - 1998

    Citeer dit