Atomic layer deposition of aluminum phosphate using AlMe3, PO(OMe)3 and O2 plasma: film growth and surface reactions

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

25 Downloads (Pure)

Vingerafdruk Duik in de onderzoeksthema's van 'Atomic layer deposition of aluminum phosphate using AlMe3, PO(OMe)3 and O2 plasma: film growth and surface reactions'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Engineering en materiaalwetenschappen

Chemische stoffen

Fysica en Astronomie