Atmospheric-pressure plasma-enhanced spatial Atomic Layer Deposition: a spectroscopic investigation of reaction mechanisms

Onderzoeksoutput: ScriptieDissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)

2 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
KwalificatieDoctor in de Filosofie
Toekennende instantie
  • Applied Physics
Begeleider(s)/adviseur
  • Roozeboom, Fred, Promotor
  • Kessels, W.M.M. (Erwin), Promotor
  • Poodt, Paul W.G., Co-Promotor
Datum van toekenning20 okt 2021
Plaats van publicatieEindhoven
Uitgever
Gedrukte ISBN's978-90-386-5354-9
StatusGepubliceerd - 20 okt 2021

Bibliografische nota

Proefschrift. - Embargo 1 year, pdf open access 20-10-2022.

Citeer dit