Atmospheric pressure plasma enhanced spatial ALD of silver

F.J. Bruele, van den, M. Smets, A. Illiberi, Y.L.M. Creijghton, P. Buskens, F. Roozeboom, P. Poodt

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

43 Citaten (Scopus)
610 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Atmospheric pressure plasma enhanced spatial ALD of silver'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Engineering

Earth and Planetary Sciences