Atmospheric pressure plasma enhanced chemical vapour deposition of silica : understanding the role of the local deposition rate in the surface and film morphology

A. Meshkova

Onderzoeksoutput: ScriptieDissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)

197 Downloads (Pure)

Samenvatting

Understanding flexible moisture barrier layers
Originele taal-2Engels
KwalificatieDoctor in de Filosofie
Toekennende instantie
  • Department of Applied Physics
Begeleider(s)/adviseur
  • van de Sanden, M.C.M. (Richard), Promotor
  • de Vries, Hindrik W., Co-Promotor, Externe Persoon
Datum van toekenning4 dec 2018
Plaats van publicatieEindhoven
Uitgever
Gedrukte ISBN's978-90-386-4652-7
StatusGepubliceerd - 4 dec 2018

    Vingerafdruk

Bibliografische nota

Proefschrift

Citeer dit