ArF scanner lithography for InP photonic integrated circuit fabrication

Onderzoeksoutput: ScriptieDissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)

252 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
KwalificatieDoctor in de Filosofie
Toekennende instantie
  • Department of Applied Physics
Begeleider(s)/adviseur
  • Williams, Kevin A., Promotor
  • Ambrosius, Huub P.M.M., Co-Promotor
Datum van toekenning12 mei 2020
Plaats van publicatieEindhoven
Uitgever
Gedrukte ISBN's978-90-386-5002-9
StatusGepubliceerd - 12 mei 2020

Bibliografische nota

Proefschrift.

Citeer dit