Area-selective atomic layer deposition using small molecule inhibitors

Onderzoeksoutput: ScriptieDissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)

187 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
KwalificatieDoctor in de Filosofie
Toekennende instantie
  • Applied Physics and Science Education
Begeleider(s)/adviseur
  • Kessels, W.M.M. (Erwin), Promotor
  • Mackus, Adrie J.M., Co-Promotor
  • Sandoval, Tania E., Co-Promotor, Externe Persoon
Datum van toekenning22 feb. 2022
Plaats van publicatieEindhoven
Uitgever
Gedrukte ISBN's978-90-386-5447-8
StatusGepubliceerd - 22 feb. 2022

Bibliografische nota

Proefschrift. - Embargo 1 year. - pdf open access 22-2-2023.

Citeer dit