Area-selective atomic layer deposition of ZnO by area activation using electron beam-induced deposition

A. Mameli, Bora Karasulu, Marcel Verheijen, Beatriz Barcones Campo, Bart Macco, Adrie Mackus, Erwin Kessels, Fred Roozeboom (Corresponding author)

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

22 Citaten (Scopus)
70 Downloads (Pure)

Vingerafdruk Duik in de onderzoeksthema's van 'Area-selective atomic layer deposition of ZnO by area activation using electron beam-induced deposition'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Chemische stoffen

Engineering en materiaalwetenschappen