Vingerafdruk Duik in de onderzoeksthema's van 'Area-Selective Atomic Layer Deposition of TiN Using Aromatic Inhibitor Molecules for Metal/Dielectric Selectivity'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.
- Sorteer per
- Gewicht
- Alfabetische volgorde
Area-Selective Atomic Layer Deposition of TiN Using Aromatic Inhibitor Molecules for Metal/Dielectric Selectivity
Marc J.M. Merkx, Sander Vlaanderen, Tahsin Faraz, Marcel A. Verheijen, Wilhelmus M.M. Kessels, Adriaan J.M. MacKus (Corresponding author)
Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Tijdschriftartikel › Academic › peer review
2
Citaten
(Scopus)