Area-selective atomic layer deposition of SiO2 using acetylacetone as a chemoselective inhibitor in an ABC-type cycle

A. Mameli, M.J.M. Merkx, B. Karasulu, F. Roozeboom, W.M.M. Kessels, A.J.M. MacKus

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

81 Citaten (Scopus)
324 Downloads (Pure)

Vingerafdruk

Duik in de onderzoeksthema's van 'Area-selective atomic layer deposition of SiO<sub>2</sub> using acetylacetone as a chemoselective inhibitor in an ABC-type cycle'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.

Fysica en Astronomie

Chemische stoffen

Engineering en materiaalwetenschappen