Applications and opportunities for plasma-assisted atomic layer deposition

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresOther

Samenvatting

Abstract only.
Originele taal-2Engels
Aantal pagina's1
StatusGepubliceerd - 2007
EvenementIMEC, Leuven, Belgium -
Duur: 1 feb 20071 feb 2007

Congres

CongresIMEC, Leuven, Belgium
Periode1/02/071/02/07
AnderIMEC

    Vingerafdruk

Citeer dit