Amorphous hydrogenated carbon nitride films deposited via an expanding thermal plasma at high growth rates

A. Graaf, de, J.L. Longueville, M.C.M. Sanden, van de, D.C. Schram, E.H.A. Dekempeneer

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresAbstract

Originele taal-2Engels
Pagina's4
StatusGepubliceerd - 1997
EvenementAmerican Vacuum Society : 44th national symposium, San Jose
- San Jose, Verenigde Staten van Amerika
Duur: 20 okt 199724 okt 1997
Congresnummer: 44

Congres

CongresAmerican Vacuum Society : 44th national symposium, San Jose
Verkorte titelAVS
LandVerenigde Staten van Amerika
StadSan Jose
Periode20/10/9724/10/97

Bibliografische nota

Abstract

Citeer dit