Advanced short-time thermal processing for Si-based CMOS devices : proceedings of the international symposium

F. Roozeboom (Redacteur), Mehmet C. Ozturk (Redacteur), E.P. Gusev (Redacteur), D.-L. Kwong (Redacteur), L.J. Chen (Redacteur), P.J. Timans (Redacteur)

Onderzoeksoutput: Boek/rapportBoekredactieAcademic

Originele taal-2Engels
Plaats van productiePennington, N.J.
UitgeverijElectrochemical Society, Inc.
Aantal pagina's480
ISBN van geprinte versie1-56677-396-2
StatusGepubliceerd - 1 jan. 2003
Extern gepubliceerdJa

Publicatie series

NaamElectrochemical Society : proceedings
Volume2003-14
ISSN van geprinte versie0161-6374

Citeer dit