Active wafer clamp control of wafer heating effects in extreme ultraviolet lithography

Onderzoeksoutput: ScriptieDissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)

843 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
KwalificatieDoctor in de Filosofie
Toekennende instantie
  • Electrical Engineering
Begeleider(s)/adviseur
  • Weiland, Siep, Promotor
  • van Berkel, Koos, Co-Promotor
Datum van toekenning21 okt 2020
Plaats van publicatieEindhoven
Uitgever
Gedrukte ISBN's978-90-386-5130-9
StatusGepubliceerd - 21 okt 2020

Bibliografische nota

Proefschrift.

Citeer dit