Absolute density of the argon first excited states in plasmas used for carbon deposition as determined by absorption spectroscopy

A.J.M. Buuron, D.K. Otorbaev, M.C.M. Sanden, van de, D.C. Schram

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftMeeting AbstractAcademic

6 Citaten (Scopus)
95 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
Pagina's (van-tot)1271-1276
TijdschriftDiamond and Related Materials
Volume4
Nummer van het tijdschrift11
DOI's
StatusGepubliceerd - 1999

Citeer dit