A one dimensional collisional sheath model for a 13.56 MHz RF plasma

P.M. Meijer, P.M. Vallinga

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Originele taal-2Engels
TitelICPIG : International Conference on Phenomena in ionized gases, 18th, Swansea, 13-17 July, 1987
Plaats van productieBristol
UitgeverijHilger
Pagina's828-829
Volume4
StatusGepubliceerd - 1987
Evenement18th International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG XVIII) - Swansea, Verenigd Koninkrijk
Duur: 13 jul 198717 jul 1987

Congres

Congres18th International Conference on Phenomena in Ionized Gases (ICPIG XVIII)
Land/RegioVerenigd Koninkrijk
StadSwansea
Periode13/07/8717/07/87

Citeer dit