A new approach to optical emission spectroscopy for studying microcrystalline silicon film growth

G. Dingemans, M.N. van den Donker, A. Gordijn, W.M.M. Kessels, M.C.M. Sanden, van de

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Originele taal-2Engels
TitelICANS 22 - abstract book : 22nd international conference on amorphous and nanocrystalline semiconductors : August 19-24, 2007, Breckenridge, Colorado, USA
RedacteurenE.A. Schiff, B. Nelson, H.M. Branz
Pagina'sTuO5.4-
StatusGepubliceerd - 2007

Citeer dit