a-C:H deposition : plasma physics, chemistry and material properties

J. Benedikt, K.G.Y. Letourneur, R.A.H. Engeln, M. Witte, D.C. Schram, M.C.M. van de Sanden

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Originele taal-2Engels
TitelCIP'2001 proceedings : 13th International colloquium on plasma processes, June 10-14, 2001, Antibes - Juan-les-Pins, France
Plaats van productieParis
UitgeverijSociété Française du Vide
Pagina's275-277
StatusGepubliceerd - 2001
Evenement13th International Colloquium on Plasma Processes (CIP 2001) - Antibes, Frankrijk
Duur: 10 jun 200114 jun 2001

Publicatie series

NaamVide: Science, Technique et Applications
UitgeverijSociété Française du Vide
Nummerspecial
Volume51
ISSN van geprinte versie1266-0167

Congres

Congres13th International Colloquium on Plasma Processes (CIP 2001)
Verkorte titelCIP'2001
Land/RegioFrankrijk
StadAntibes
Periode10/06/0114/06/01

Citeer dit