A calibration platform for generating parallel displacements with nanometre accuracy

H. Haitjema, P.C.J.N. Rosielle, H.A.M. Steijaert

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Originele taal-2Engels
Titel9th International Precision Engineering Conference, Braunschweig
StatusGepubliceerd - 1997

Citeer dit