A 3D translation stage for metrological AFM

C. Werner

Onderzoeksoutput: ScriptieDissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)

1688 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
KwalificatieDoctor in de Filosofie
Toekennende instantie
  • Mechanical Engineering
Begeleider(s)/adviseur
  • Steinbuch, Maarten, Promotor
  • Rosielle, Nick, Co-Promotor
Datum van toekenning16 dec. 2010
Plaats van publicatieEindhoven
Uitgever
Gedrukte ISBN's978-90-386-2391-7
DOI's
StatusGepubliceerd - 2010

Citeer dit