A 3D translation stage for metrological AFM

C. Werner

Onderzoeksoutput: ScriptieDissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)

972 Downloads (Pure)
Originele taal-2Engels
KwalificatieDoctor in de Filosofie
Toekennende instantie
  • Department of Mechanical Engineering
Begeleider(s)/adviseur
  • Steinbuch, Maarten, Promotor
  • Rosielle, P.C.J.N. (Nick), Co-Promotor
Datum van toekenning16 dec 2010
Plaats van publicatieEindhoven
Uitgever
Gedrukte ISBN's978-90-386-2391-7
DOI's
StatusGepubliceerd - 2010

Citeer dit

Werner, C. (2010). A 3D translation stage for metrological AFM. Eindhoven: Technische Universiteit Eindhoven. https://doi.org/10.6100/IR692270