Onderzoeksoutput zoeken

Zoek in alle inhoud

Filters voor Onderzoeksoutput

Concepten zoeken
Geselecteerde filters

Publicatiejaar

  • 2019
  • 2018
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011

Auteur

  • W.M.M. (Erwin) Kessels
2019

Area-selective atomic layer deposition of ZnO by area activation using electron beam-induced deposition

Mameli, A., Karasulu, B., Verheijen, M., Barcones Campo, B., Macco, B., Mackus, A., Kessels, E. & Roozeboom, F., 26 feb 2019, In : Chemistry of Materials. 31, 4, blz. 1250-1257 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
12 Citaten (Scopus)
59 Downloads (Pure)

Area-selective deposition of Ruthenium by combining atomic layer deposition and selective etching

Vos, M. F. J., Chopra, S. N., Verheijen, M. A., Ekerdt, J. G., Agarwal, S., Kessels, W. M. M. & Mackus, A. J. M., 22 mei 2019, In : Chemistry of Materials. 31, 11, blz. 3878-3882 5 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
10 Citaten (Scopus)
133 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of cobalt phosphate thin films for the oxygen evolution reaction

Di Palma, V., Zafeiropoulos, G., Goldsweer, T., Kessels, W. M. M., van de Sanden, M. C. M., Creatore, M. & Tsampas, M. N., 1 jan 2019, In : Electrochemistry Communications. 98, blz. 73-77 5 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
8 Citaten (Scopus)
109 Downloads (Pure)

Chemical analysis of the interface between hybrid organic−inorganic perovskite and atomic layer deposited Al2O3

Koushik, D., Hazendonk, L., Zardetto, V., Vandalon, V., Verheijen, M. A., Kessels, W. M. M. & Creatore, M., 6 feb 2019, In : ACS Applied Materials & Interfaces. 11, 5, blz. 5526-5535 10 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
8 Citaten (Scopus)
159 Downloads (Pure)

Data on dopant characteristics and band alignment of CdTe cells with and without a ZnO highly-resistive-transparent buffer layer

Kartopu, G., Williams, B. L., Zardetto, V., Gürlek, A. K., Clayton, A. J., Jones, S., Kessels, W. M. M., Creatore, M. & Irvine, S. J. C., 1 feb 2019, In : Data in Brief. 22, blz. 218-221 4 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
39 Downloads (Pure)
Open Access
Bestand
9 Citaten (Scopus)
125 Downloads (Pure)

Energetic Ions during plasma-enhanced atomic layer deposition and their role in tailoring material properties

Faraz, T., Arts, K., Karwal, S., Knoops, H. C. M. & Kessels, W. M. M., 28 feb 2019, In : Plasma Sources Science and Technology. 28, 2, 19 blz., 024002.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

21 Citaten (Scopus)
3 Downloads (Pure)

Enhancement of the photocurrent and efficiency of CdTe solar cells suppressing the front contact reflection using a highly-resistive ZnO buffer layer

Kartopu, G., Williams, B. L., Zardetto, V., Gürlek, A. K., Clayton, A. J., Jones, S., Kessels, W. M. M., Creatore, M. & Irvine, S. J. C., mrt 2019, In : Solar Energy Materials and Solar Cells. 191, blz. 78-82 5 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
18 Citaten (Scopus)
48 Downloads (Pure)

Film conformality and extracted recombination probabilities of O atoms during plasma-assisted atomic layer deposition of SiO2, TiO2, Al2O3, and HfO2

Arts, K., Utriainen, M., Puurunen, R. L., Kessels, E. & Knoops, H., 7 nov 2019, In : Journal of Physical Chemistry C. 123, 44, blz. 27030-27035 6 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
6 Citaten (Scopus)
32 Downloads (Pure)

From the bottom-up: toward area-selective atomic layer deposition with high selectivity

Mackus, A. J. M., Merkx, M. J. M. & Kessels, W. M. M., 8 jan 2019, In : Chemistry of Materials. 31, 1, blz. 2-12 11 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
39 Citaten (Scopus)
369 Downloads (Pure)

Infrared and optical emission spectroscopy study of atmospheric pressure plasma-enhanced spatial ALD of Al2O3

Mione, M., Engeln, R., Vandalon, V., Kessels, E. & Roozeboom, F., 19 aug 2019, In : Applied Physics Letters. 115, 8, 5 blz., 083101.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
4 Downloads (Pure)

Infrared and optical emission spectroscopy study of the surface chemistry in atmospheric-pressure plasma-enhanced spatial ALD of Al2O3

Mione, M., Engeln, R., Vandalon, V., Kessels, E. & Roozeboom, F., 2019, In : ECS Transactions. 92, 3, blz. 35-44 10 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Initial growth study of atomic-layer deposition of Al2O3 by vibrational sum-frequency generation

Vandalon, V. & Kessels, E., 13 aug 2019, In : Langmuir. 35, 32, blz. 10374-10382 9 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
1 Citaat (Scopus)
24 Downloads (Pure)

Ion energy control during plasma-enhanced atomic layer deposition: enabling materials control and selective processing in the third dimension

Faraz, T., Knoops, H. & Kessels, E., 11 apr 2019, In : Nevac Blad. 57, 1, blz. 6-10 5 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelPopulair

Open Access
Bestand
50 Downloads (Pure)

Low temperature phase-controlled synthesis of titanium di- and tri-sulfide by atomic layer deposition

Basuvalingam, S., Zhang, Y., Bloodgood, M., Godiksen, R. H., González Curto, A., Hofmann, J. P., Verheijen, M., Kessels, E. & Bol, A., 26 nov 2019, In : Chemistry of Materials. 31, 22, blz. 9354-9362 9 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
101 Downloads (Pure)

Mass spectrometry study of Li2CO3 film growth by thermal and plasma-assisted atomic layer deposition

Hornsveld, N., Kessels, E. & Creatore, A., 21 feb 2019, In : Journal of Physical Chemistry C. 123, 7, blz. 4109-4115 7 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
1 Citaat (Scopus)
6 Downloads (Pure)

On the effect of atomic layer deposited Al2O3 on the environmental degradation of hybrid perovskite probed by positron annihilation spectroscopy

Koushik, D., Naziris, F., Melskens, J., Nusteling, A., Zardetto, V., Schut, H., Kessels, W. M. M., Eijt, S. W. H. & Creatore, M., 14 mei 2019, In : Journal of Materials Chemistry C. 7, 18, blz. 5275-5284 10 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

4 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

On the role of micro-porosity in affecting the environmental stability of atomic/molecular layer deposited (ZnO) : A (Zn-O-C 6 H 4 -O) b films

Aghaee, M., Niemelä, J. P., Kessels, W. M. M. & Creatore, M., 14 feb 2019, In : Dalton Transactions. 48, 10, blz. 3496-3505 10 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

8 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Performance and thermal stability of an a-Si:H/TiOx/Yb stack as an electron-selective contact in silicon heterojunction solar cells

Cho, J., Melskens, J., Payo, M. R., Debucquoy, M., Radhakrishnan, H. S., Gordon, I., Szlufcik, J., Kessels, W. M. M. & Poortmans, J., 25 feb 2019, In : ACS Applied Energy Materials. 2, 2, blz. 1393-1404 12 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

8 Citaten (Scopus)

Photovoltaic cell and a method for manufacturing the same

Kessels, E. & Black, L., 12 sep 2019, Octrooi Nr. WO2019172770, Prioriteitsdatum 9 mrt 2018, Prioriteitsnummer NL20182020560 20180309

Onderzoeksoutput: OctrooiOctrooi-publicatie

Open Access
Bestand
9 Downloads (Pure)

Plasma-assisted ALD of LiPO(N) for solid state batteries

Put, B., Mees, M. J., Hornsveld, N., Hollevoet, S., Sepúlveda, A., Vereecken, P. M., Kessels, W. M. M. & Creatore, M., 12 apr 2019, In : Journal of the Electrochemical Society. 166, 6, blz. A1239-A1242 4 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

7 Citaten (Scopus)
3 Downloads (Pure)

Plasma-assisted atomic layer deposition of nickel oxide as hole transport layer for hybrid perovskite solar cells

Koushik, D., Jošt, M., Dučinskas, A., Burgess, C., Zardetto, V., Weijtens, C., Verheijen, M., Kessels, E., Albrecht, S. & Creatore, A., 17 sep 2019, In : Journal of Materials Chemistry C. 7, 40, blz. 12532-12543 12 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
4 Citaten (Scopus)
62 Downloads (Pure)

Rear-emitter silicon heterojunction solar cells with atomic layer deposited ZnO:Al serving as an alternative transparent conducting oxide to In2O3:Sn

Niemelä, J., Macco, B., Barraud, L., Descoeudres, A., Badel, N., Despeisse, M., Christmann, G., Nicolay, S., Ballif, C., Kessels, E. & Creatore, A., 15 sep 2019, In : Solar Energy Materials and Solar Cells. 200, 109953, 5 blz., 109953.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
8 Citaten (Scopus)
43 Downloads (Pure)

Silicon surface passivation by transparent conductive zinc oxide

van de Loo, B. W. H., Macco, B., Melskens, J., Beyer, W. & Kessels, E., 14 mrt 2019, In : Journal of Applied Physics. 125, 10, 9 blz., 105305.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
5 Citaten (Scopus)
29 Downloads (Pure)

Status and prospects of plasma-assisted atomic layer deposition

Knoops, H., Faraz, T., Arts, K. & Kessels, E., 1 mei 2019, In : Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 37, 3, 26 blz., 030902.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
29 Citaten (Scopus)
343 Downloads (Pure)

Sticking probabilities of H2O and Al(CH3)3 during atomic layer deposition of Al2O3 extracted from their impact on film conformality

Arts, K., Vandalon, V., Puurunen, R. L., Utriainen, M., Gao, F., Kessels, E. & Knoops, H., 24 apr 2019, In : Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 37, 3, 5 blz., 030908.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
7 Citaten (Scopus)
6 Downloads (Pure)

TiO2 thin film patterns prepared by chemical vapor deposition and atomic layer deposition using an atmospheric pressure microplasma printer

Aghaee, M., Verheijen, J., Stevens, A. A. E., Kessels, E. & Creatore, A., dec 2019, In : Plasma Processes and Polymers. 16, 12, 14 blz., 1900127.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
3 Citaten (Scopus)
37 Downloads (Pure)

Transition in layer structure of atomic/molecular layer deposited ZnO-zincone multilayers

Niemelä, J., Aghaee, M., Kessels, E., Creatore, A. & Verheijen, M., 1 jul 2019, In : Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 37, 4, 4 blz., 040602.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
1 Citaat (Scopus)
6 Downloads (Pure)
2018

Anti-stiction coating for mechanically tunable photonic crystal devices

Petruzzella, M., Zobenica, Cotrufo, M., Zardetto, V., Mameli, A., Pagliano, F., Koelling, S., Van Otten, F. W. M., Roozeboom, F., Kessels, W. M. M., van der Heijden, R. W. & Fiore, A., 19 feb 2018, In : Optics Express. 26, 4, blz. 3882-3891 10 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
4 Citaten (Scopus)
97 Downloads (Pure)

Area-selective atomic layer deposition of metal oxides on noble metals through catalytic oxygen activation

Singh, J. J., Thissen, N. F. W., Kim, W-H., Johnson, H., Kessels, W. M. M., Bol, A. A., Bent, S. F. & Mackus, A. J. M., 13 feb 2018, In : Chemistry of Materials. 30, 3, blz. 663–670 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
36 Citaten (Scopus)
177 Downloads (Pure)

Atomic-layer deposited Nb2O5 as transparent passivating electron contact for c-Si solar cells

Macco, B., Black, L. E., Melskens, J., van de Loo, B. W. H., Berghuis, W. J. H., Verheijen, M. A. & Kessels, W. M. M., 1 sep 2018, In : Solar Energy Materials and Solar Cells. 184, blz. 98-104 7 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
23 Citaten (Scopus)
117 Downloads (Pure)

Atomic-layer deposited passivation schemes for c-Si solar cells

van de Loo, B. W. H., Macco, B., Melskens, J., Verheijen, M. A. & Kessels, W. M. M. E., 25 mei 2018, 2017 IEEE 44th Photovoltaic Specialist Conference, PVSC 2017. Piscataway: Institute of Electrical and Electronics Engineers, blz. 1-6 6 blz.

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Atomic layer deposition of cobalt using H2-, N2-, and NH3-based plasmas: on the role of the Co-reactant

Vos, M. F. J., van Straaten, G., Kessels, W. M. M. & Mackus, A. J. M., 4 okt 2018, In : Journal of Physical Chemistry C. 122, 39, blz. 22519-22529 11 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
13 Citaten (Scopus)
186 Downloads (Pure)

Characterization of nano-porosity in molecular layer deposited films

Perrotta, A., Poodt, P., van den Bruele, F. J., Kessels, W. M. M. & Creatore, M., 1 mei 2018, In : Dalton Transactions. 47, 23, blz. 7649-7655 7 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

6 Citaten (Scopus)
Open Access
Bestand
9 Citaten (Scopus)
128 Downloads (Pure)

Controlling mechanical, structural, and optical properties of Al2O3 thin films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition with substrate biasing

Beladiya, V., Faraz, T., Kessels, W. M. M., Tünnermann, A. & Szeghalmi, A., 1 jan 2018, Advances in Optical Thin Films VI. SPIE, 106910E. (Proceedings of SPIE; vol. 10691).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

1 Downloads (Pure)

Dopant distribution in atomic layer deposited ZnO:Al films visualized by transmission electron microscopy and atom probe tomography

Wu, Y., Giddings, A. D., Verheijen, M. A., Macco, B., Prosa, T. J., Larson, D. J., Roozeboom, F. & Kessels, W. M. M., 27 feb 2018, In : Chemistry of Materials. 30, 4, blz. 1209-1217 9 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
11 Citaten (Scopus)
78 Downloads (Pure)

Effective passivation of silicon surfaces by ultrathin atomic-layer deposited niobium oxide

Macco, B., Bivour, M., Deijkers, J. H., Basuvalingam, S. B., Black, L. E., Melskens, J., van de Loo, B. W. H., Berghuis, W. J. H., Hermle, M. & Kessels, W. M. M., 11 jun 2018, In : Applied Physics Letters. 112, 24, 242105.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
6 Citaten (Scopus)
62 Downloads (Pure)

Explorative studies of novel silicon surface passivation materials: considerations and lessons learned

Black, L. E., van de Loo, B. W. H., Macco, B., Melskens, J., Berghuis, W. J. H. & Kessels, W. M. M., 15 dec 2018, In : Solar Energy Materials and Solar Cells. 188, blz. 182-189 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
12 Citaten (Scopus)
187 Downloads (Pure)

Hydrogen passivation of poly-Si/SiOx contacts for Si solar cells using Al2O3 studied with deuterium

Schnabel, M., Van De Loo, B. W. H., Nemeth, W., Macco, B., Stradins, P., Kessels, W. M. M. & Young, D. L., 14 mei 2018, In : Applied Physics Letters. 112, 20, 5 blz., 203901.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
39 Citaten (Scopus)
56 Downloads (Pure)

Initial stage of atomic layer deposition of 2D-MoS2 on a SiO2 surface: A DFT study

Shirazi, M., Kessels, W. M. M. & Bol, A. A., 28 jun 2018, In : Physical Chemistry Chemical Physics. 20, 24, blz. 16861-16875 15 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
4 Citaten (Scopus)
198 Downloads (Pure)

Investigating the difference in nucleation during Si-based ALD on different surfaces for future area-selective deposition

Filatova, E. A., Mameli, A., Mackus, A. J. M., Roozeboom, F., Kessels, W. M. M., Hausmann, D. & Elliott, S. D., 2018, 2018 IEEE 18th International Conference on Nanotechnology (IEEE-NANO). Piscataway: Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2 blz. 8626336

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

1 Downloads (Pure)

Investigation of crystalline silicon surface passivation by positively charged POx/Al2O3 stacks

Black, L. E. & Kessels, W. M. M., 1 okt 2018, In : Solar Energy Materials and Solar Cells. 185, blz. 385-391 7 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
3 Citaten (Scopus)
116 Downloads (Pure)

Isotropic atomic layer etching of ZnO using Acetylacetone and O2 plasma

Mameli, A., Verheijen, M. A., Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M. & Roozeboom, F., 7 nov 2018, In : ACS Applied Materials & Interfaces. 10, 44, blz. 38588-38595 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
7 Citaten (Scopus)
120 Downloads (Pure)

Light-induced reversible optical properties of hydrogenated amorphous silicon: a promising optically programmable photonic material

Mohammed, M. A., Melskens, J., Stabile, R., Kessels, W. M. M. & Raz, O., 20 jun 2018, In : Physica Status Solidi A : Applications and material science. 215, 12, 8 blz., 1700754.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
2 Citaten (Scopus)
57 Downloads (Pure)

Low resistivity HfN: X grown by plasma-assisted ALD with external rf substrate biasing

Karwal, S., Verheijen, M. A., Williams, B. L., Faraz, T., Kessels, W. M. M. & Creatore, M., 21 apr 2018, In : Journal of Materials Chemistry C. 6, 15, blz. 3917-3926 10 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

15 Citaten (Scopus)
7 Downloads (Pure)

Low-temperature plasma-assisted atomic-layer-deposited SnO2 as an electron transport layer in planar Perovskite solar cells

Kuang, Y., Zardetto, V., van Gils, R. J., Karwal, S., Koushik, D., Verheijen, M. A., Black, L. E., Weijtens, C. H. L., Veenstra, S. C., Andriessen, H. A. J. M. R., Kessels, W. M. M. & Creatore, M., 12 sep 2018, In : ACS Applied Materials & Interfaces. 10, 36, blz. 30367-30378 12 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
24 Citaten (Scopus)
544 Downloads (Pure)

Low-temperature plasma-enhanced atomic layer deposition of 2-D MoS2: Large area, thickness control and tuneable morphology

Sharma, A., Verheijen, M. A., Wu, L., Karwal, S., Vandalon, V., Knoops, H. C. M., Sundaram, R. S., Hofmann, J. P., Kessels, W. M. M. & Bol, A. A., 14 mei 2018, In : Nanoscale. 10, 18, blz. 8615-8627 13 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

31 Citaten (Scopus)

Metastable hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) as reversible programmable photonic material

Mohammed, M. A., Stabile, R., Melskens, J., Kessels, W. M. M. & Raz, O., 26 nov 2018.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic