Onderzoeksoutput zoeken

Zoek in alle inhoud

Filters voor Onderzoeksoutput

Concepten zoeken
Geselecteerde filters

Publicatiejaar

  • 2020
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011

Auteur

  • W.M.M. (Erwin) Kessels
2020

ALD – a truly enabling nanotechnology: And how the Netherlands contributed to its wide spread application

Kessels, W. M. M., 2 jun 2020, In : Nevac Blad. 58, special, blz. 6-9 2.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelPopulair

Area-Selective Atomic Layer Deposition of Two-Dimensional WS2 Nanolayers

Balasubramanyam, S., Merkx, M. J. M., Verheijen, M. A., Kessels, W. M. M., Mackus, A. J. M. & Bol, A. A., 4 mei 2020, In : ACS Materials Letters. 2, 5, blz. 511-518 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
1 Citaat (Scopus)

Atomic layer deposition of aluminum phosphate using AlMe3, PO(OMe)3 and O2 plasma: film growth and surface reactions

Hornsveld, N., Kessels, W. M. M. E. & Creatore, M. A., 5 mrt 2020, In : Journal of Physical Chemistry C. 124, 9, blz. 5495-5505 11 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
24 Downloads (Pure)
1 Downloads (Pure)

Effect of an electric field during the deposition of silicon dioxide thin films by plasma enhanced atomic layer deposition: an experimental and computational study

Beladiya, V., Becker, M., Faraz, T., Kessels, W. M. M., Schenk, P., Otto, F., Fritz, T., Gruenewald, M., Helbing, C., Jandt, K. D., Tünnermann, A., Sierka, M. & Szeghalmi, A., 21 jan 2020, In : Nanoscale. 12, 3, blz. 2089-2102 14 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

3 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Erratum: History of atomic layer deposition and its relationship with the American Vacuum Society (Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films (2013)31 (050818) DOI: 10.1116/1.4816548)

Parsons, G. N., Elam, J. W., George, S. M., Haukka, S., Jeon, H., Kessels, W. M. M., Leskelä, M., Poodt, P., Ritala, M. & Rossnagel, S. M., 1 mei 2020, In : Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films. 38, 3, 1 blz., 037001.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftCommentaar/Brief aan de redacteurAcademicpeer review

Open Access

Evidence for low-energy ions influencing plasma-assisted atomic layer deposition of SiO2: Impact on the growth per cycle and wet etch rate

Arts, K., Deijkers, J. H., Faraz, T., Puurunen, R. L., Kessels, W. M. M. & Knoops, H. C. M., 20 jul 2020, In : Applied Physics Letters. 117, 3, 5 blz., 031602.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Evidence for Low-energy Ions Influencing Plasma-assisted Atomic Layer Deposition of SiO2: Impact on the Growth per Cycle and Wet Etch Rate

Kessels, W. M. M., 1 sep 2020, In : ILTPC Newsletter. 6, 1 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
3 Downloads (Pure)

Improved Passivation of n-Type Poly-Si Based Passivating Contacts by the Application of Hydrogen-Rich Transparent Conductive Oxides

Tutsch, L., Feldmann, F., Macco, B., Bivour, M., Kessels, W. M. M. E. & Hermle, M., jul 2020, In : IEEE Journal of Photovoltaics. 10, 4, blz. 986-991 6 blz., 9093196.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
2 Citaten (Scopus)
Open Access
Bestand
61 Downloads (Pure)

Mechanism of precursor blocking by acetylacetone inhibitor molecules during area-selective atomic layer deposition of SiO2

Merkx, M. J. M., Sandoval, T. E., Hausmann, D. M., Kessels, W. M. M. E. & Mackus, A. J. M., 28 apr 2020, In : Chemistry of Materials. 32, 8, blz. 3335-3345

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Metastable refractive index manipulation in hydrogenated amorphous silicon for reconfigurable photonics

Mohammed, M. A., Melskens, J., Stabile, R., Pagliano, F., Li, C., Kessels, W. M. M. & Raz, O., 1 mrt 2020, In : Advanced Optical Materials. 8, 6, 11 blz., 1901680.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
1 Citaat (Scopus)
20 Downloads (Pure)

On the hydrogenation of Poly-Si passivating contacts by Al2O3 and SiNx thin films

van de Loo, B. W. H., Macco, B., Schnabel, M., Stodolny, M. K., Mewe, A. A., Young, D. L., Nemeth, W., Stradins, P. & Kessels, W. M. M., 15 sep 2020, In : Solar Energy Materials and Solar Cells. 215, 6 blz., 110592.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
1 Citaat (Scopus)

Plasma-Assisted ALD of Highly Conductive HfNx: On the Effect of Energetic Ions on Film Microstructure

Karwal, S., Verheijen, M. A., Arts, K., Faraz, T., Kessels, W. M. M. & Creatore, M., 1 mei 2020, In : Plasma Chemistry and Plasma Processing. 40, 3, blz. 697-712 16 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
2 Citaten (Scopus)
8 Downloads (Pure)

Probing the origin and suppression of vertically oriented nanostructures of 2D WS2 layers

Balasubramanyam, S., Bloodgood, M., van Ommeren, M., Faraz, T., Vandalon, V., Kessels, W. M. M. E., Verheijen, M. A. & Bol, A. A., 22 jan 2020, In : ACS Applied Materials & Interfaces. 12, 3, blz. 3873-3885 13 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
1 Citaat (Scopus)
26 Downloads (Pure)

Self-aligned local contact opening and n+ diffusion by single-step laser doping from POx/Al2O3 passivation stacks

Black, L. E., Ernst, M., Theeuwes, R. J., Melskens, J., Macdonald, D. & Kessels, W. M. M., 1 nov 2020, In : Solar Energy Materials and Solar Cells. 217, 7 blz., 110717.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

2018

Anti-stiction coating for mechanically tunable photonic crystal devices

Petruzzella, M., Zobenica, Cotrufo, M., Zardetto, V., Mameli, A., Pagliano, F., Koelling, S., Van Otten, F. W. M., Roozeboom, F., Kessels, W. M. M., van der Heijden, R. W. & Fiore, A., 19 feb 2018, In : Optics Express. 26, 4, blz. 3882-3891 10 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
4 Citaten (Scopus)
92 Downloads (Pure)

Area-selective atomic layer deposition of metal oxides on noble metals through catalytic oxygen activation

Singh, J. J., Thissen, N. F. W., Kim, W-H., Johnson, H., Kessels, W. M. M., Bol, A. A., Bent, S. F. & Mackus, A. J. M., 13 feb 2018, In : Chemistry of Materials. 30, 3, blz. 663–670 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
36 Citaten (Scopus)
172 Downloads (Pure)

Atomic-layer deposited Nb2O5 as transparent passivating electron contact for c-Si solar cells

Macco, B., Black, L. E., Melskens, J., van de Loo, B. W. H., Berghuis, W. J. H., Verheijen, M. A. & Kessels, W. M. M., 1 sep 2018, In : Solar Energy Materials and Solar Cells. 184, blz. 98-104 7 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
22 Citaten (Scopus)
114 Downloads (Pure)

Atomic-layer deposited passivation schemes for c-Si solar cells

van de Loo, B. W. H., Macco, B., Melskens, J., Verheijen, M. A. & Kessels, W. M. M. E., 25 mei 2018, 2017 IEEE 44th Photovoltaic Specialist Conference, PVSC 2017. Piscataway: Institute of Electrical and Electronics Engineers, blz. 1-6 6 blz.

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Atomic layer deposition of cobalt using H2-, N2-, and NH3-based plasmas: on the role of the Co-reactant

Vos, M. F. J., van Straaten, G., Kessels, W. M. M. & Mackus, A. J. M., 4 okt 2018, In : Journal of Physical Chemistry C. 122, 39, blz. 22519-22529 11 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
13 Citaten (Scopus)
184 Downloads (Pure)

Characterization of nano-porosity in molecular layer deposited films

Perrotta, A., Poodt, P., van den Bruele, F. J., Kessels, W. M. M. & Creatore, M., 1 mei 2018, In : Dalton Transactions. 47, 23, blz. 7649-7655 7 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

6 Citaten (Scopus)
Open Access
Bestand
9 Citaten (Scopus)
121 Downloads (Pure)

Controlling mechanical, structural, and optical properties of Al2O3 thin films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition with substrate biasing

Beladiya, V., Faraz, T., Kessels, W. M. M., Tünnermann, A. & Szeghalmi, A., 1 jan 2018, Advances in Optical Thin Films VI. SPIE, 106910E. (Proceedings of SPIE; vol. 10691).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

1 Downloads (Pure)

Dopant distribution in atomic layer deposited ZnO:Al films visualized by transmission electron microscopy and atom probe tomography

Wu, Y., Giddings, A. D., Verheijen, M. A., Macco, B., Prosa, T. J., Larson, D. J., Roozeboom, F. & Kessels, W. M. M., 27 feb 2018, In : Chemistry of Materials. 30, 4, blz. 1209-1217 9 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
10 Citaten (Scopus)
74 Downloads (Pure)

Effective passivation of silicon surfaces by ultrathin atomic-layer deposited niobium oxide

Macco, B., Bivour, M., Deijkers, J. H., Basuvalingam, S. B., Black, L. E., Melskens, J., van de Loo, B. W. H., Berghuis, W. J. H., Hermle, M. & Kessels, W. M. M., 11 jun 2018, In : Applied Physics Letters. 112, 24, 242105.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
6 Citaten (Scopus)
61 Downloads (Pure)

Explorative studies of novel silicon surface passivation materials: considerations and lessons learned

Black, L. E., van de Loo, B. W. H., Macco, B., Melskens, J., Berghuis, W. J. H. & Kessels, W. M. M., 15 dec 2018, In : Solar Energy Materials and Solar Cells. 188, blz. 182-189 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
12 Citaten (Scopus)
184 Downloads (Pure)

Hydrogen passivation of poly-Si/SiOx contacts for Si solar cells using Al2O3 studied with deuterium

Schnabel, M., Van De Loo, B. W. H., Nemeth, W., Macco, B., Stradins, P., Kessels, W. M. M. & Young, D. L., 14 mei 2018, In : Applied Physics Letters. 112, 20, 5 blz., 203901.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
38 Citaten (Scopus)
54 Downloads (Pure)

Initial stage of atomic layer deposition of 2D-MoS2 on a SiO2 surface: A DFT study

Shirazi, M., Kessels, W. M. M. & Bol, A. A., 28 jun 2018, In : Physical Chemistry Chemical Physics. 20, 24, blz. 16861-16875 15 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
4 Citaten (Scopus)
186 Downloads (Pure)

Investigating the difference in nucleation during Si-based ALD on different surfaces for future area-selective deposition

Filatova, E. A., Mameli, A., Mackus, A. J. M., Roozeboom, F., Kessels, W. M. M., Hausmann, D. & Elliott, S. D., 2018, 2018 IEEE 18th International Conference on Nanotechnology (IEEE-NANO). Piscataway: Institute of Electrical and Electronics Engineers, 2 blz. 8626336

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

1 Downloads (Pure)

Investigation of crystalline silicon surface passivation by positively charged POx/Al2O3 stacks

Black, L. E. & Kessels, W. M. M., 1 okt 2018, In : Solar Energy Materials and Solar Cells. 185, blz. 385-391 7 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
3 Citaten (Scopus)
115 Downloads (Pure)

Isotropic atomic layer etching of ZnO using Acetylacetone and O2 plasma

Mameli, A., Verheijen, M. A., Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M. & Roozeboom, F., 7 nov 2018, In : ACS Applied Materials & Interfaces. 10, 44, blz. 38588-38595 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
6 Citaten (Scopus)
116 Downloads (Pure)

Light-induced reversible optical properties of hydrogenated amorphous silicon: a promising optically programmable photonic material

Mohammed, M. A., Melskens, J., Stabile, R., Kessels, W. M. M. & Raz, O., 20 jun 2018, In : Physica Status Solidi A : Applications and material science. 215, 12, 8 blz., 1700754.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
2 Citaten (Scopus)
56 Downloads (Pure)

Low resistivity HfN: X grown by plasma-assisted ALD with external rf substrate biasing

Karwal, S., Verheijen, M. A., Williams, B. L., Faraz, T., Kessels, W. M. M. & Creatore, M., 21 apr 2018, In : Journal of Materials Chemistry C. 6, 15, blz. 3917-3926 10 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

15 Citaten (Scopus)
7 Downloads (Pure)

Low-temperature plasma-assisted atomic-layer-deposited SnO2 as an electron transport layer in planar Perovskite solar cells

Kuang, Y., Zardetto, V., van Gils, R. J., Karwal, S., Koushik, D., Verheijen, M. A., Black, L. E., Weijtens, C. H. L., Veenstra, S. C., Andriessen, H. A. J. M. R., Kessels, W. M. M. & Creatore, M., 12 sep 2018, In : ACS Applied Materials & Interfaces. 10, 36, blz. 30367-30378 12 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
20 Citaten (Scopus)
516 Downloads (Pure)

Low-temperature plasma-enhanced atomic layer deposition of 2-D MoS2: Large area, thickness control and tuneable morphology

Sharma, A., Verheijen, M. A., Wu, L., Karwal, S., Vandalon, V., Knoops, H. C. M., Sundaram, R. S., Hofmann, J. P., Kessels, W. M. M. & Bol, A. A., 14 mei 2018, In : Nanoscale. 10, 18, blz. 8615-8627 13 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

28 Citaten (Scopus)

Metastable hydrogenated amorphous silicon (a-Si:H) as reversible programmable photonic material

Mohammed, M. A., Stabile, R., Melskens, J., Kessels, W. M. M. & Raz, O., 26 nov 2018.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

Optical and electrical properties of H2 plasma-treated ZnO films prepared by atomic layer deposition using supercycles

Uprety, P., Macco, B., Junda, M. M., Grice, C. R., Kessels, W. M. M. & Podraza, N. J., 1 sep 2018, In : Materials Science in Semiconductor Processing. 84, blz. 91-100 10 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
8 Citaten (Scopus)
12 Downloads (Pure)

Passivating contacts for crystalline silicon solar cells: from concepts and materials to prospects

Melskens, J., van de Loo, B. W. H., Macco, B., Black, L. E., Smit, S. & Kessels, W. M. M., 1 mrt 2018, In : IEEE Journal of Photovoltaics. 8, 2, blz. 373-388 16 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
95 Citaten (Scopus)
1431 Downloads (Pure)

Passivating electron-selective contacts for silicon solar cells based on an a-Si: H/TiOx stack and a low work function metal

Cho, J., Melskens, J., Debucquoy, M., Recamán Payo, M., Jambaldinni, S., Bearda, T., Gordon, I., Szlufcik, J., Kessels, W. M. M. & Poortmans, J., 1 okt 2018, In : Progress in Photovoltaics: Research and Applications. 26, 10, blz. 835-845 11 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

14 Citaten (Scopus)
Open Access
Bestand
8 Citaten (Scopus)
291 Downloads (Pure)

POx/Al2O3 stacks: Highly effective surface passivation of crystalline silicon with a large positive fixed charge

Black, L. E. & Kessels, W. M. M., 14 mei 2018, In : Applied Physics Letters. 112, 20, 201603.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
4 Citaten (Scopus)
48 Downloads (Pure)

Pt-graphene contacts fabricated by plasma functionalization and atomic layer deposition

Vervuurt, R. H. J., Karasulu, B., Thissen, N. F. W., Jiao, Y., Weber, J. W., Kessels, W. M. M. & Bol, A. A., 9 jul 2018, In : Advanced Materials Interfaces. 5, 13, 15 blz., 1800268.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

3 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Status and prospects for atomic layer Deposited metal oxide thin films in passivating contacts for c-Si photovoltaics

Macco, B., van de Loo, B. W. H., Melskens, J., Smit, S. & Kessels, W. M. M., 25 mei 2018, 2017 IEEE 44th Photovoltaic Specialist Conference, PVSC 2017. Piscataway: Institute of Electrical and Electronics Engineers, blz. 1-6 6 blz.

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Strategies to facilitate the formation of free standing MoS2 nanolayers on SiO2 surface by atomic layer deposition: a DFT study

Shirazi, M., Kessels, W. M. M. & Bol, A. A., 29 nov 2018, In : APL Materials. 6, 11, 8 blz., 111107.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftCommunicatieAcademicpeer review

Open Access
Bestand
2 Citaten (Scopus)
127 Downloads (Pure)

Surface fluorination of ALD TiO2 electron transport layer for efficient planar Perovskite solar cells

Zardetto, V., Di Giacomo, F., Lifka, H., Verheijen, M. A., Weijtens, C. H. L., Black, L. E., Veenstra, S., Kessels, W. M. M., Andriessen, R. & Creatore, M., 9 mei 2018, In : Advanced Materials Interfaces. 5, 9, 6 blz., 1701456.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

10 Citaten (Scopus)

Tuning material properties of oxides and nitrides by substrate biasing during plasma-enhanced atomic layer deposition on planar and 3D substrate topographies

Faraz, T., Knoops, H. C. M., Verheijen, M. A., Van Helvoirt, C. A. A., Karwal, S., Sharma, A., Beladiya, V., Szeghalmi, A., Hausmann, D. M., Henri, J., Creatore, M. & Kessels, W. M. M., 18 apr 2018, In : ACS Applied Materials & Interfaces. 10, 15, blz. 13158-13180 23 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
27 Citaten (Scopus)
105 Downloads (Pure)
2017

Area-selective atomic layer deposition: Role of surface chemistry

Mameli, A., Karasulu, B., Verheijen, M. A., Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M. & Roozeboom, F., 1 jan 2017, ECS Transactions. De Gendt, S., Dendooven, J., Roozeboom, F., Liu, C., Elam, J. W. & van der Straten, O. (redactie). 3 redactie Electrochemical Society, Inc., Vol. 80. blz. 39-48 10 blz. (ECS Transactions; vol. 80, nr. 3).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

5 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)