Onderzoeksoutput zoeken

Zoek in alle inhoud

Filters voor Onderzoeksoutput

Concepten zoeken
Geselecteerde filters

Publicatiejaar

  • 2020
  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011

Auteur

  • W.M.M. (Erwin) Kessels
2014

The use of atomic layer deposition in advanced nanopattering

Mackus, A. J. M., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2014, In : Nanoscale. 6, 19, blz. 10941-10960 20 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

163 Citaten (Scopus)
9 Downloads (Pure)
2013

[Zr(NEtMe)2(guan-NEtMe)2] as a novel ALD precursor: ZrO2 film growth and mechanistic studies

Blanquart, T., Niinistö, J., Aslam, N., Banerjee, M., Tomczak, Y., Gavagnin, M., Longo, V., Puukilainen, E., Wanzenboeck, H. D., Kessels, W. M. M., Devi, A., Hoffmann-Eifert, S., Ritala, M. & Leskelä, M., 2013, In : Chemistry of Materials. 25, blz. 3088-

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

16 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Al2O3/TiO2 nano-pattern antireflection coating with ultralow surface recombination

Spinelli, P., Macco, B., Verschuuren, M. A., Kessels, W. M. M. & Polman, A., 2013, In : Applied Physics Letters. 102, 23, blz. 233902-1/4 4 blz., 233902.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
58 Citaten (Scopus)
212 Downloads (Pure)

ALD of SrTiO3 and Pt for Pt/SrTiO3/Pt MIM structures : growth and crystallization study

Longo, V., Roozeboom, F., Kessels, W. M. M. & Verheijen, M. A., 2013, Atomic Layer Deposition Applications 9. Roozeboom, F. & Delabie, A. (redactie). Pennington, NJ, USA: The Electrochemical Society, blz. 153-162 (ECS Transactions; vol. 58).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

3 Citaten (Scopus)
2 Downloads (Pure)

Alternative technology concepts for low-cost and high-speed 2D and 3D interconnect manufacturing

Roozeboom, F., Smets, M., Kniknie, B., Hoppenbrouwers, M., Dingemans, G., Keuning, W., Kessels, W. M. M., Pohl, R. & Huis In't Veld, A. J., 1 jan 2013, blz. 1-6. 6 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPaperAcademic

1 Citaat (Scopus)

A new concept for spatially divided deep reactive ion etching with ALD based passivation

Roozeboom, F., Kniknie, B. J., Lankhorst, A. M., Winands, G. J. J., Knaapen, R., Smets, M., Poodt, P., Dingemans, G., Keuning, W. & Kessels, W. M. M., 2013, Processing Materials of 3D Interconnects, Damascene and Electronics Packaging 4 (PRiME 2012), October 7, 2012 - October 12, 2012, Honolulu, HI. Kondo, K., Pdolaha-Murphy, E. J., Mathad, S. & Roozeboom, F. (redactie). Pennington, New Jersey: The Electrochemical Society, blz. 73-82 (ECS Transactions; vol. 50).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

2 Citaten (Scopus)
2 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of LiCoO2 thin film electrodes for all-solid-state Li-ion micro-batteries

Donders, M. E., ArnoldBik, W. M., Knoops, H. C. M., Kessels, W. M. M. & Notten, P. H. L., 2013, In : Journal of the Electrochemical Society. 160, 5, blz. A3066-A3071

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
53 Citaten (Scopus)
633 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of nanomaterials for Li-ion batteries, fuel cells, and solar cells

Kessels, W. M. M., Knoops, H. C. M., Weber, M. J., Mackus, A. J. M. & Creatore, M., 2013, In : Material Matters. 8, 4, blz. 117-117 1 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelPopulair

2 Downloads (Pure)

Catalytic combustion reactions during atomic layer deposition of Ru studied using 18O2 isotope labeling

Leick, N., Agarwal, S., Mackus, A. J. M., Potts, S. E. & Kessels, W. M. M., 2013, In : Journal of Physical Chemistry C. 117, 41, blz. 21320-21330 11 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

7 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Catalytic surface reactions during nucleation and growth of atomic layer deposition of noble metals : a case study for platinum

Mackus, A. J. M., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2013, Atomic Layer Deposition Applications 9. Roozeboom, F. & Delabie, A. (redactie). Pennington, NJ, USA: The Electrochemical Society, blz. 183-193 (ECS Transactions; vol. 58).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

4 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Crystallization study by transmission electron microscopy of SrTiO3 thin films prepared by plasma-assisted ALD

Longo, V., Verheijen, M. A., Roozeboom, F. & Kessels, W. M. M., 2013, In : ECS Journal of Solid State Science and Technology. 2, 5, blz. N120-N124

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
9 Citaten (Scopus)
125 Downloads (Pure)

C-Si surface passivation by aluminum oxide studied with electron energy loss spectroscopy

Hoex, B., Bosman, M., Nandakumar, N. & Kessels, W. M. M., 1 jan 2013, 39th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, PVSC 2013. Institute of Electrical and Electronics Engineers, blz. 3333-3336 4 blz. 6745164

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

3 Citaten (Scopus)

Depositie van polykristallijn silicium voor dunne-film zonnecellen

Macco, B., Sharma, K., Kessels, W. M. M. & Creatore, M., 2013, In : Nevac Blad. 51, 1, blz. 6-11

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelProfessioneel

Open Access
Bestand
115 Downloads (Pure)

De relatie tussen de elektrische en optische eigenschappen van plasma-gedeponeerd zinkoxide

Loo, van de, B. W. H., Knoops, H. C. M., Ponomarev, M., Kessels, W. M. M. & Creatore, M., 2013, In : Nevac Blad. 51, 2, blz. 14-18 5 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelProfessioneel

Open Access
Bestand
93 Downloads (Pure)

Direct-wire atomic layer deposition of high-quality Pt nanostructures : selective growth conditions and seed layer requirements

Mackus, A. J. M., Thissen, N. F. W., Mulders, J. J. L., Trompenaars, P. H. F., Verheijen, M. A., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2013, In : Journal of Physical Chemistry C. 117, 20, blz. 10788-10798 11 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

39 Citaten (Scopus)
5 Downloads (Pure)

Electrical transport and Al doping efficiency in nanoscale ZnO films prepared by atomic layer deposition

Wu, Y., Hermkens, P. M., Loo, van de, B. W. H., Knoops, H. C. M., Potts, S. E., Verheijen, M. A., Roozeboom, F. & Kessels, W. M. M., 2013, In : Journal of Applied Physics. 114, blz. 024308-1/9

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
58 Citaten (Scopus)
245 Downloads (Pure)

Energy-enhanced atomic layer deposition : offering more processing freedom

Potts, S. E. & Kessels, W. M. M., 2013, In : Coordination Chemistry Reviews. 257, blz. 3254-3270

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

52 Citaten (Scopus)
3 Downloads (Pure)

Enhanced doping efficiency of Al-doped ZnO by atomic layer deposition using dimethylaluminum isopropoxide as an alternative aluminum precursor

Wu, Y., Potts, S. E., Hermkens, P. M., Knoops, H. C. M., Roozeboom, F. & Kessels, W. M. M., 2013, In : Chemistry of Materials. 25, 22, blz. 4619-4622 4 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

55 Citaten (Scopus)
5 Downloads (Pure)

History of atomic layer deposition and its relationship with the American Vacuum Society

Parsons, G. N., Elam, J. W., George, S. M., Haukka, S., Jeon, H., Kessels, W. M. M., Leskelä, M., Poodt, P., Ritala, M. & Rossnagel, S. M., 2013, In : Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 31, 5, blz. 050818-1/11 11 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
54 Citaten (Scopus)
886 Downloads (Pure)

Hydrogen-argon plasma pre-treatment for improving the anti-corrosion properties of thin Al2O3 films deposited using atomic layer deposition on steel

Härkönen, E., Potts, S. E., Kessels, W. M. M., Díaz, B., Seyeux, A., Swiatowska, J., Maurice, V., Marcus, P., Radnóczi, G., Tóth, L., Kariniemi, M., Niinistö, J. & Ritala, M., 2013, In : Thin Solid Films. 534, blz. 384-393 10 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

19 Citaten (Scopus)
9 Downloads (Pure)
79 Citaten (Scopus)
2 Downloads (Pure)

Nanofabricage van koolstofnanobuistransistors met atoomlaagdepositie

Thissen, N. F. W., Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M. & Bol, A. A., 2013, In : Nevac Blad. 51, 3, blz. 10-

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelProfessioneel

2 Downloads (Pure)

Passivated tunneling contacts for c-Si solar cells

Garcia - Alonso, D., Smit, S., Bordihn, S. & Kessels, W. M. M., 2013, In : Europhysics News. 44, 5, blz. 10-10 1 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftMeeting AbstractAcademic

Open Access
Bestand
29 Citaten (Scopus)
43 Downloads (Pure)

Passivation of n+-type Si surfaces by low temperature processed SiO2/Al2O3 stack

Bordihn, S., Dingemans, G., Mertens, V., Müller, J. W. & Kessels, W. M. M., 2013, In : IEEE Journal of Photovoltaics. 3, 3, blz. 925-929 5 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

6 Citaten (Scopus)
3 Downloads (Pure)

Plasma-assisted atomic layer deposition of SrTiO3 : stoichiometry and crystallinity studied by spectroscopic ellipsometry

Longo, V., Leick, N., Roozeboom, F. & Kessels, W. M. M., 2013, In : ECS Journal of Solid State Science and Technology. 2, 1, blz. N15-N22

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
24 Citaten (Scopus)
204 Downloads (Pure)

Plasma- en materiaal-onderzoek in Eindhoven

Brunner, E., Boer, de, M. & Kessels, W. M. M., 2013, In : Nederlands Tijdschrift voor Natuurkunde. 79, 10, blz. 388-390 3 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelProfessioneel

1 Downloads (Pure)

Room-temperature ALD of metal oxide thin films by energy-enhanced ALD

Potts, S. E., Profijt, H. B., Roelofs, R. & Kessels, W. M. M., 2013, In : Chemical Vapor Deposition. 19, 4-6, blz. 125-133 9 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

39 Citaten (Scopus)
7 Downloads (Pure)

Room-temperature atomic layer deposition of platinum

Mackus, A. J. M., Garcia-Alonso Garcia, D., Knoops, H. C. M., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2013, In : Chemistry of Materials. 25, 9, blz. 1769-1774 6 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

50 Citaten (Scopus)
4 Downloads (Pure)

Room Temperature Sensing of O2 and CO by Atomic Layer Deposition Prepared ZnO Films Coated with Pt Nanoparticles

Erkens, I. J. M., Blauw, M. A., Verheijen, M. A., Roozeboom, F. & Kessels, W. M. M., 2013, Proceedings of the 224th ECS Meeting, October 27 – November 1, 2013, San Francisco, California. Roozeboom, F. & Delabie, A. (redactie). ECS, blz. 203- (ECS Transactions; vol. 58).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

3 Citaten (Scopus)

Silicon passivation and tunneling contact formation by atomic layer deposited Al2O3/ZnO stacks

Garcia-Alonso Garcia, D., Smit, S., Bordihn, S. & Kessels, W. M. M., 2013, In : Semiconductor Science and Technology. 28, 8, blz. 082002- 5 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

27 Citaten (Scopus)
3 Downloads (Pure)

Silicon surface passivation by aluminium oxide studied with electron energy loss spectroscopy

Hoex, B., Bosman, M., Nandakumar, N. & Kessels, W. M. M., 2013, In : Physica Status Solidi : Rapid Research Letters. 7, 11, blz. 937-941 5 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

18 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Substrate-biasing during plasma-assisted atomic layer deposition to tailor metal-oxide thin film growth

Profijt, H. B., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2013, In : Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 31, blz. 01A106-1/10

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
58 Citaten (Scopus)
408 Downloads (Pure)

Surface passivation and simulated performance of solar cells with Al2O3/SiNx rear dielectric stacks

Bordihn, S., van Delft, J. A., Mandoc, M. M., Müller, J. W. & Kessels, W. M. M., 2013, In : IEEE Journal of Photovoltaics. 3, 3, blz. 970-975 6 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

9 Citaten (Scopus)
5 Downloads (Pure)
2012

Analysis of blister formation in spatial ALD Al2O3 for silicon surface passivation

Hennen, L., Granneman, E. H. A. & Kessels, W. M. M., 26 nov 2012, Program - 38th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, PVSC 2012. blz. 1049-1054 6 blz. 6317783

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

20 Citaten (Scopus)

A new concept for spatially divided Deep Reactive Ion Etching with ALD-based passivation

Roozeboom, F., Kniknie, B. J., Lankhorst, A. M., Winands, G. J. J., Knaapen, R., Smets, M., Poodt, P., Dingemans, G., Keuning, W. & Kessels, W. M. M., 2012, Proceedings of the E-MRS 2012 Spring meeting, symposium M : more than Moore : novel materials approaches for functionalised silicon based microelectronics, 14-18 May 2012, Strassbourg, France. Institute of Physics, blz. 012001- (IOP Conference Series: Material Science and Engineering; vol. 41).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Open Access
Bestand
8 Citaten (Scopus)
185 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition for nanostructured Li-ion batteries

Knoops, H. C. M., Donders, M. E., Sanden, van de, M. C. M., Notten, P. H. L. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 30, 1, blz. 010801-1/10 10 blz., 010801.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
80 Citaten (Scopus)
177 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition for photovoltaics : applications and prospects for solar cell manufacturing

van Delft, J. A., Garcia-Alonso Garcia, D. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Semiconductor Science and Technology. 27, 7, blz. 1-13 074002.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

138 Citaten (Scopus)
5 Downloads (Pure)

Catalytic combustion and dehydrogenation reactions during atomic layer deposition of platinum

Mackus, A. J. M., Leick, N., Baker, L. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Chemistry of Materials. 24, 10, blz. 1752-1761

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

83 Citaten (Scopus)
7 Downloads (Pure)

Cathode encapsulation of organic light emitting diodes by atomic layer deposited Al2O3 films and Al2O3/a-SiNx: H stacks

Keuning, W., Weijer, van de, P., Lifka, H., Kessels, W. M. M. & Creatore, M., 2012, In : Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 30, 1, blz. 01A131-1/6 6 blz., 01A131.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
40 Citaten (Scopus)
204 Downloads (Pure)

CO3O4 as anode material for thin film micro-batteries prepared by remote plasma atomic layer deposition

Donders, M. E., Knoops, H. C. M., Kessels, W. M. M. & Notten, P. H. L., 2012, In : Journal of Power Sources. 203, blz. 72-77 6 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

40 Citaten (Scopus)
2 Downloads (Pure)

Concept of spatially-divided deep reactive ion etching of si using oxide atomic layer deposition in the passivation cycle

Roozeboom, F., Kniknie, B., Knaapen, R., Smets, M., Illiberi, A., Poodt, P., Dingemans, G., Keuning, W. & Kessels, W. M. M., 1 jan 2012, 2012 4th Electronic System-Integration Technology Conference, ESTC 2012. IEEE Computer Society, 6542052

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Crystallization study by transmission electron microscopy of SrTiO3 thin films prepared by plasma-assisted ALD

Longo, V., Roozeboom, F., Kessels, W. M. M. & Verheijen, M. A., 2012, Pacific RIM meeting on electrochemical and solid-state science, (PRIME), October 7-12 2012, Honolulu Hawaii. blz. 69-77 (ECS Transactions; vol. 50).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

2 Citaten (Scopus)

Dehydrogenation reactions during atomic layer deposition of Ru using O2

Leick, N., Agarwal, S., Mackus, A. J. M. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Chemistry of Materials. 24, blz. 3696-3700

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

19 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

De invloed van ionen tijdens plasma-geassisteerde atoomlaagdepositie

Profijt, H. B., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Nevac Blad. 50, 3, blz. 21-27

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelProfessioneel

De kunst van het maken

Kessels, W. M. M., 2012, Eindhoven: Technische Universiteit Eindhoven. 32 blz.

Onderzoeksoutput: Boek/rapportInaugurale redeAcademic

Open Access
Bestand
96 Downloads (Pure)

Impact of the deposition and annealing temperature on the silicon surface passivation of ALD Al2O3 films

Bordihn, S., Kiesow, I., Mertens, V., Engelhart, P., Müller, J. W. & Kessels, W. M. M., 1 jan 2012, In : Energy Procedia. 27, blz. 396-401 6 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftCongresartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
4 Citaten (Scopus)
38 Downloads (Pure)

Influence of annealing and Al2O3 properties on the hydrogen-induced passivation of the Si/SiO2 interface

Dingemans, G., Einsele, F., Beyer, W., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Journal of Applied Physics. 111, 9, blz. 1-9 093713.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

93 Citaten (Scopus)
4 Downloads (Pure)

Ion bombardment during plasma-assisted atomic layer deposition

Profijt, H. B. & Kessels, W. M. M., 2012, Pacific RIM meeting on electrochemical and solid-state science, (PRIME), October 7-12 2012, Honolulu Hawaii. blz. 23-34 (ECS Transactions; vol. 50).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

11 Citaten (Scopus)
3 Downloads (Pure)

Jaarringen

Mackus, A. J. M., Garcia-Alonso Garcia, D. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Nederlands Tijdschrift voor Natuurkunde. 78, 8, blz. 379-379

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelProfessioneel

Latest advances in plasma techniques used for atomic layer deposition

Kessels, W. M. M., 2012

Onderzoeksoutput: Niet-tekstuele vormWeb publicatie / siteProfessioneel