Onderzoeksoutput zoeken

Zoek in alle inhoud

Filters voor Onderzoeksoutput

Concepten zoeken
Geselecteerde filters

Publicatiejaar

  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011

Auteur

  • W.M.M. (Erwin) Kessels
2016

Atomic layer deposited ZnO:B as transparent conductive oxide for silicon heterojunction solar cells

Gatz, H. A., Koushik, D., Rath, J. K., Kessels, W. M. M. & Schropp, R. E. I., aug 2016, In : Energy Procedia. 92, blz. 624-632

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
9 Citaten (Scopus)
83 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of molybdenum oxide from (NtBu)2(NMe2)2Mo and O2 plasma

Vos, M., Macco, B., Thissen, N. F. W., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2016, In : Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 34, 1, blz. 01A103-1/8 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
56 Citaten (Scopus)
752 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of Pd and Pt nanoparticles for catalysis: on the mechanisms of nanoparticle formation

Mackus, A. J. M., Weber, M. J., Thissen, N. F. W., Garcia-Alonso Garcia, D., Vervuurt, R. H. J., Assali, S., Bol, A. A., Verheijen, M. A. & Kessels, W. M. M., 2016, In : Nanotechnology. 27, 3, blz. 1-13 13 blz., 034001.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

50 Citaten (Scopus)
15 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of silicon nitride from bis(tertiary-butyl-amino)silane and N2 plasma studied by in situ gas phase and surface infrared spectroscopy

Bosch, R. H. E. C., Cornelissen, L. E., Knoops, H. C. M. & Kessels, W. M. M., 20 jul 2016, In : Chemistry of Materials. 28, 16, blz. 5864–5871 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
16 Citaten (Scopus)
186 Downloads (Pure)

Comparative study of ALD SiO2 thin films for optical applications

Pfeiffer, K., Shestaeva, S., Bingel, A., Munzert, P., Ghazaryan, L., van Helvoirt, C. A. A., Kessels, W. M. M., Sanli, U. T., Grevent, C., Schütz, G., Putkonen, M., Buchanan, I., Jensen, L., Ristau, D., Tünnermann, A. & Szeghalmi, A., 1 feb 2016, In : Optical Materials Express. 6, 2, blz. 660-670

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
27 Citaten (Scopus)
1772 Downloads (Pure)

Continuous and ultrathin platinum films on graphene using atomic layer deposition: a combined computational and experimental study

Karasulu, B., Vervuurt, R. H. J., Kessels, W. M. M. & Bol, A. A., 8 nov 2016, In : Nanoscale. 8, 47, blz. 19829-19845 17 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

19 Citaten (Scopus)
3 Downloads (Pure)

Device architectures with nanocrystalline mesoporous scaffolds and thin compact layers for flexible perovskite solar cells and modules

Di Giacomo, F., Lucarelli, G., Pescetelli, S., Matteocci, F., Razza, S., Di Carlo, A., D'Epifanio, A., Licoccia, S., Brown, T., Zardetto, V., Kessels, W. M. M. & Creatore, A., 20 jan 2016, 2015 IEEE 15th International Conference on Nanotechnology (IEEE-NANO) , 27-30 July 2015, Romer, Italy . Piscataway: Institute of Electrical and Electronics Engineers, blz. 739-742 4 blz.

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

1 Downloads (Pure)

Dynamic ellipsometric porosimetry investigation of permeation pathways in moisture barrier layers on polymers

Perrotta, A., Kessels, W. M. M. & Creatore, M., 12 sep 2016, In : ACS Applied Materials & Interfaces. 8, 38, blz. 25005–25009

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

5 Citaten (Scopus)
2 Downloads (Pure)

Een nieuwe atoomlaagdepositieproces voor efficiëntere zonnecellen

Vos, M. F. J., Macco, B. & Kessels, W. M. M., apr 2016, In : Nevac Blad. 5, 1, blz. 8-13

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelProfessioneel

Open Access
Bestand
112 Downloads (Pure)

High resolution sheet resistance mapping to unveil edge effects in industrial IBC Solar Cells

Spinelli, P., Danzi, P., Guillevin, N., Mewe, A., Sawallich, S., Vlooswijk, A., van de Loo, B. W. H., Kessels, W. M. M., Nagel, M. & Cesar, I., 2016, In : Energy Procedia. 92, blz. 218-224 6 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
5 Citaten (Scopus)
162 Downloads (Pure)

How does someone become successful in his/her job

Kessels, W. M. M., 20 mrt 2016

Onderzoeksoutput: Andere bijdrageOverige bijdrageAndere onderzoeksoutput

Open Access
Bestand
53 Downloads (Pure)

In situ spectroscopic ellipsometry during atomic layer deposition of Pt, Ru and Pd

Leick, N., Weber, J. W., Mackus, A. J. M., Weber, M. J., van de Sanden, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 17 feb 2016, In : Journal of Physics D: Applied Physics. 49, 12, 12 blz., 115504.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

17 Citaten (Scopus)
8 Downloads (Pure)

Metal-insulator-semiconductor nanowire network solar cells

Oener, S. Z., van de Groep, J., Macco, B., Bronsveld, P. C. P., Kessels, W. M. M., Polman, A. & Garnett, E. C., 12 mei 2016, In : Nano Letters. 16, 6, blz. 3689-3695

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

17 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Nucleation of microcrystalline silicon : on the effect of the substrate surface nature and nano-imprint topography

Palmans, J., Faraz, T., Verheijen, M., Kessels, E. & Creatore, A., 7 jan 2016, In : Journal of Physics D: Applied Physics. 49, 5, 11 blz., 055205.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

3 Citaten (Scopus)
7 Downloads (Pure)

On the growth, percolation and wetting of silver thin films grown by atmospheric-plasma enhanced spatial atomic layer deposition

Mameli, A., Van Den Bruele, F. J., Ande, C. K., Verheijen, M. A., Kessels, W. M. M. & Roozeboom, F., 6 okt 2016, Atomic Layer Deposition Applications 12. Electrochemical Society, Inc., blz. 129-142 14 blz. (ECS Transactions; vol. 75, nr. 6).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

3 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

On the solid phase crystallization of In2O3:H transparent conductive oxide films prepared by atomic layer deposition

Macco, B., Verheijen, M. A., Black, L. E., Barcones Campo, B., Melskens, J. & Kessels, W. M. M., 31 aug 2016, In : Journal of Applied Physics. 120, blz. 1-8 085314.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
14 Citaten (Scopus)
260 Downloads (Pure)

Plasma-assisted ALD of LiPO(N) for solid state batteries

Put, B., Mees, M. J., Hornsveld, N., Sepúlveda, A., Vereecken, P. M., Kessels, W. M. M. & Creatore, M., 2016, Li-Ion Batteries. Electrochemical Society, Inc., blz. 61-69 9 blz. (ECS Transactions; vol. 75, nr. 20).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Open Access
Bestand
10 Citaten (Scopus)
165 Downloads (Pure)

Silicon heterojunction solar cell passivation in combination with nanocrystalline silicon oxide emitters

Gatz, H. A., Rath, J. K., Verheijen, M. A., Kessels, W. M. M. & Schropp, R. E. I., 23 mei 2016, In : Physica Status Solidi A : Applications and material science. 213, 7, blz. 1932-1936 5 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

8 Citaten (Scopus)
2 Downloads (Pure)

Status and prospects for atomic layer deposited metal oxide thin films in passivating contacts for c-Si photovoltaics

Macco, B., van de Loo, B. W. H., Melskens, J., Smit, S. & Kessels, W. M. M. E., 18 nov 2016, 2016 IEEE 43rd Photovoltaic Specialists Conference, PVSC 2016. Institute of Electrical and Electronics Engineers, Vol. 2016-November. blz. 2473-2478 6 blz. 7750088

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

3 Citaten (Scopus)
2 Downloads (Pure)

Surface infrared spectroscopy during low temperature growth of supported Pt Nanoparticles by atomic layer deposition

Bosch, R. H. E. C., Bloksma, F. L., Huijs, J. M. M., Verheijen, M. A. & Kessels, W. M. M., 2016, In : Journal of Physical Chemistry C. 120, 1, blz. 750-755

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

14 Citaten (Scopus)
12 Downloads (Pure)

Synergy between plasma-assisted ALD and roll-to-roll atmospheric pressure PE-CVD processing of moisture barrier films on polymers

Starostin, S. A., Keuning, W., Schalken, J. R. G., Creatore, M., Kessels, W. M. M., Bouwstra, J. B., Sanden, van de, M. C. M. & Vries, de, H. W., 2016, In : Plasma Processes and Polymers. 13, 3, blz. 311-315

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

12 Citaten (Scopus)
3 Downloads (Pure)

The competing roles of i-ZnO in Cu(ln,Ga)Se¬2 solar cells

Williams, B. L., Zardetto, V., Kniknie, B. J., Verheijen, M. A., Kessels, W. M. M. & Creatore, M., 2016, In : Solar Energy Materials and Solar Cells. 157, December 2016, blz. 798-807

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

9 Citaten (Scopus)
2 Downloads (Pure)

The influence of non-stoichiometry on the switching kinetics of strontium-titanate ReRAM devices

Fleck, K., Aslam, N., Hoffmann-Eifert, S., Longo, V., Roozeboom, F., Kessels, W. M. M., Böttiger, U., Waser, R. & Menzel, S., 2016, In : Journal of Applied Physics. 120, blz. 244502 9 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
4 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Ultra-low surface recombination for deeply etched III-V semiconductor nano-cavity lasers

Higuera Rodriguez, A., Patarata Romeira, B. M., Birindelli, S., Black, L. E., Smalbrugge, E., Kessels, W. M. M., Smit, M. K. & Fiore, A., 2016, Proceedings Advanced Photonics 2016 (IPR, NOMA, Sensors, Networks, SPPCom, SOF). Washington: OSA Publishing, 3 blz. ITu2A.2

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Open Access
Bestand
189 Downloads (Pure)

Ultra-low surface recombination for deeply etched III-V semiconductor nano-cavity lasers

Higuera-Rodriguez, A., Romeira, B., Birindelli, S., Black, L., Smalbrugge, B., Kessels, W. M. M., Smit, M. K. & Fiore, A., 2016, Integrated Photonics Research, Silicon and Nanophotonics, IPRSN 2016. Optical Society of America (OSA), 3 blz. ITu2A

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

2 Downloads (Pure)

What is limiting low-temperature atomic layer deposition of Al2O3? A vibrational sum-frequency generation study

Vandalon, V. & Kessels, W. M. M., 4 jan 2016, In : Applied Physics Letters. 108, 1, blz. 1-5 011607.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
29 Citaten (Scopus)
392 Downloads (Pure)
2015

A spatial ALD oxide passivation module in an all-spatial etch-passivation cluster concept

Roozeboom, F., Van Den Bruele, F., Creyghton, Y., Poodt, P. & Kessels, W. M. M., 2015, Atomic Layer Deposition Applications 11. 7 redactie Electrochemical Society, Inc., Vol. 69. blz. 243-258 16 blz. (ECS Transactions; vol. 69).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

1 Citaat (Scopus)
4 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition

Knoops, H. C. M., Potts, S. E., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2015, Handbook of crystal growth : thin films and epitaxy (second edition). Kuech, T. (redactie). Elsevier, blz. 1101-1134

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureHoofdstukAcademicpeer review

26 Citaten (Scopus)
15 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of B-doped ZnO using triisopropyl borate as the boron precursor and comparison with Al-doped ZnO

Garcia - Alonso, D., Potts, S. E., Helvoirt, van, C. A. A., Verheijen, M. A. & Kessels, W. M. M., 2015, In : Journal of Materials Chemistry C. 3, 13, blz. 3095-3107 13 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
35 Citaten (Scopus)
257 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of silicon nitride from Bis(tert-butylamino)silane and N2 plasma

Knoops, H. C. M., Braeken, E. M. J., de Peuter, K., Potts, S. E., Haukka, S., Pore, V. & Kessels, W. M. M., 2015, In : ACS Applied Materials & Interfaces. 7, 35, blz. 19857-19862

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

49 Citaten (Scopus)
16 Downloads (Pure)

Atomic layer etching : what can we learn from atomic layer deposition?

Faraz, T., Roozeboom, F., Knoops, H. C. M. & Kessels, W. M. M., 2015, In : ECS Journal of Solid State Science and Technology. 4, 6, blz. NS-023/032

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
57 Citaten (Scopus)
410 Downloads (Pure)

Boron-doped silicon surfaces from B2H6 passivated by ALD Al2O3 for solar cells

Mok, K. R. C., Loo, van de, B. W. H., Vlooswijk, A. H. G., Kessels, W. M. M. & Nanver, L. K., 2015, In : IEEE Journal of Photovoltaics. 5, 5, blz. 1310-1318

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

4 Citaten (Scopus)
3 Downloads (Pure)

Concepts and prospects of passivating contacts for crystalline silicon solar cells

Melskens, J., Van De Loo, B. W. H., Macco, B., Vos, M. F. J., Palmans, J., Smit, S. & Kessels, W. M. M., 14 dec 2015, 2015 IEEE 42nd Photovoltaic Specialist Conference, PVSC 2015, 14-19 June 2015, New Orleans, Louisiana. Piscataway: Institute of Electrical and Electronics Engineers, 7355646

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

11 Citaten (Scopus)
3 Downloads (Pure)

Corrigendum to "Expanding thermal plasma chemical vapour deposition of ZnO:Al layers for CIGS solar cells"

Sharma, K., Williams, B. L., Mittal, A., Knoops, H. C. M., Kniknie, B. J., Bakker, N. J., Kessels, W. M. M., Schropp, R. E. I. & Creatore, M., 2015, In : International Journal of Photoenergy. 2015, blz. 1 321702.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
72 Downloads (Pure)

Cyclic etch /passivation-deposition as an all-spatial concept toward high-rate room temperature Atomic Layer Etching

Roozeboom, F., van den Bruele, F., Creijghton, Y. L. M., Poodt, P. & Kessels, W. M. M., 2015, In : ECS Journal of Solid State Science and Technology. 4, 6, blz. N5067-5076 10 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
10 Citaten (Scopus)
286 Downloads (Pure)

Electron scattering and doping mechanisms in solid-phase-crystallized ln2O3:H prepared by atomic layer deposition

Macco, B., Knoops, H. C. M. & Kessels, W. M. M., 5 aug 2015, In : ACS Applied Materials & Interfaces. 7, 30, blz. 16723-16729

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

45 Citaten (Scopus)
4 Downloads (Pure)

Encapsulation method for atom probe tomography analysis of nanoparticles

Larson, D. J., Giddings, A. D., Wu, Y., Verheijen, M. A., Prosa, T. J., Roozeboom, F., Rice, K. P., Kessels, W. M. M. & Kelly, T. F., 1 dec 2015, In : Ultramicroscopy. 159, 2, blz. 420-426 7 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

24 Citaten (Scopus)
8 Downloads (Pure)

Flexible perovskite photovoltaic modules and cells rased on atomic layer deposited compact layers and UV-irradiated TiO2 scaffolds on plastic substrates

Di Giacomo, F., Zardetto, V., D'Epifanio, A., Pescetelli, S., Matteocci, F., Razza, S., Di Carlo, A., Licoccia, S., Kessels, W. M. M., Creatore, M. & Brown, T. M., 22 apr 2015, In : Advanced Energy Materials. 5, 8, blz. 1-9 1401808.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
177 Citaten (Scopus)
600 Downloads (Pure)

Identifying parasitic current pathways in CIGS solar cells by modelling dark J-V response

Williams, B. L., Smit, S., Kniknie, B. J., Bakker, K., Keuning, W., Schropp, R. E. I., Creatore, M. & Kessels, W. M. M., nov 2015, In : Progress in Photovoltaics: Research and Applications. 23, 11, blz. 1516-1525 10 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
38 Citaten (Scopus)
387 Downloads (Pure)

Low-temperature atomic layer deposition of MoOx for silicon heterojunction solar cells

Macco, B., Vos, M., Thissen, N. F. W., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2015, In : Physica Status Solidi : Rapid Research Letters. 9, 7, blz. 393-396

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

47 Citaten (Scopus)
10 Downloads (Pure)

Low-temperature plasma-assisted atomic layer deposition of silicon nitride moisture permeation barrier layers

Andringa, A., Perrotta, A., de Peuter, K., Knoops, H. C. M., Kessels, W. M. M. & Creatore, M., 2015, In : ACS Applied Materials & Interfaces. 7, 40, blz. 22525-22532

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

43 Citaten (Scopus)
4 Downloads (Pure)

Mercury: industrial IBC cell with front floating emitter for 20.9% and higher efficiency

Mewe, A., Spinelli, P., Burgers, A., Janssen, G., Guillevin, N., van de Loo, B. W. H., Kessels, W. M. M., Ylooswijk, A., Geerligs, B. & Cesar, I., 14 dec 2015, 2015 IEEE 42nd Photovoltaic Specialist Conference, PVSC 2015, 14-19 June 2015, New Orleans, Louisiana. Piscataway: Institute of Electrical and Electronics Engineers, blz. 1-6 7356061

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

1 Citaat (Scopus)

New patterning paradigm? : selective deposition may be the way forward to the far reaches of device scaling after 7nm.

Lapedus, M. & Kessels, W. M. M., 2015

Onderzoeksoutput: Niet-tekstuele vormWeb publicatie / siteProfessioneel

Open Access
Bestand
341 Downloads (Pure)

Opportunities of atomic layer deposition for perovskite solar cells

Zardetto, V., Di Giacomo, F., Mohammed, M. A., Lucarelli, G., Razza, S., D’Epifanio, A., Licoccia, S., Kessels, W. M. M., Di Carlo, A., Brown, T. M. & Creatore, M., 2 okt 2015, In : ECS Transactions. 69, 7, blz. 15-22

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
3 Citaten (Scopus)
216 Downloads (Pure)

Optical modeling of plasma-deposited ZnO films : electron scattering at different length scales

Knoops, H. C. M., Loo, van de, B. W. H., Smit, S., Ponomarev, M., Weber, J. W., Sharma, K., Kessels, W. M. M. & Creatore, M., 2015, In : Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 33, blz. 021509-1/13

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
156 Downloads (Pure)

Plasma atomic layer deposition

Knoops, H. C. M., de Peuter, K. & Kessels, W. M. M., 1 okt 2015, Octrooi Nr. US20150279681 (A1), Prioriteitsnummer US201414231317 20140331

Onderzoeksoutput: OctrooiOctrooi-publicatie

Open Access
Bestand
69 Downloads (Pure)

P-type nc-SiOx:H emitter layer for silicon heterojunction solar cells grown by RF-PECVD

Gatz, H. A., Kuang, Y., Verheijen, M. A., Rath, J. K., Kessels, W. M. M. & Schropp, R. E. I., 2015, Material Research Society (MRS) Proceedings. Hekmatshoar, B. & Collins, R. (redactie). Materials Research Society, (Materials Research Society Symposium Proceedings; vol. 1770).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Redeposition in plasma-assisted atomic layer deposition : silicon nitride film quality ruled by the gas residence time

Knoops, H. C. M., de Peuter, K. & Kessels, W. M. M., 2015, In : Applied Physics Letters. 107, blz. 014102 4 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
38 Citaten (Scopus)
303 Downloads (Pure)

Resistive intrinsic ZnO films deposited by ultrafast spatial ALD for PV applications

Nandakumar, N., Dielissen, S. A. F., Garcia-Alonso Garcia, D., Liu, Z., Görtzen, R., Kessels, W. M. M., Aberle, A. G. & Hoex, B., 2015, In : IEEE Journal of Photovoltaics. 5, 5, blz. 1462-1469

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

8 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Role of surface termination in atomic layer deposition of silicon nitride

Ande, C. K., Knoops, H. C. M., de Peuter, K., van Drunen, M., Elliott, S. D. & Kessels, W. M. M., 2015, In : The Journal of Physical Chemistry Letters. 2015, 6, blz. 3610-3614 5 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

31 Citaten (Scopus)
12 Downloads (Pure)