Onderzoeksoutput zoeken

Zoek in alle inhoud

Filters voor Onderzoeksoutput

Concepten zoeken
Geselecteerde filters

Publicatiejaar

  • 2019
  • 2018
  • 2017
  • 2016
  • 2015
  • 2014
  • 2013
  • 2012
  • 2011

Auteur

  • W.M.M. (Erwin) Kessels

[Zr(NEtMe)2(guan-NEtMe)2] as a novel ALD precursor: ZrO2 film growth and mechanistic studies

Blanquart, T., Niinistö, J., Aslam, N., Banerjee, M., Tomczak, Y., Gavagnin, M., Longo, V., Puukilainen, E., Wanzenboeck, H. D., Kessels, W. M. M., Devi, A., Hoffmann-Eifert, S., Ritala, M. & Leskelä, M., 2013, In : Chemistry of Materials. 25, blz. 3088-

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

16 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Advanced front-surface passivation schemes for industrial n-type silicon solar cells

Loo, van de, B. W. H., Dingemans, G., Granneman, E. H. A., Romijn, I. G., Janssen, G. J. M. & Kessels, W. M. M., 2014, In : Photovoltaics International : the Technology Resource for PV Professionals. 24, blz. 43-50 7 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelProfessioneel

5 Downloads (Pure)

Advanced process technologies : plasma, direct-wire, atmospheric pressure, and roll-to-roll ALD

Kessels, W. M. M. & Putkonen, M., 2011, In : MRS Bulletin. 36, november 2011, blz. 907-913

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
56 Citaten (Scopus)
163 Downloads (Pure)

Al2O3/TiO2 nano-pattern antireflection coating with ultralow surface recombination

Spinelli, P., Macco, B., Verschuuren, M. A., Kessels, W. M. M. & Polman, A., 2013, In : Applied Physics Letters. 102, 23, blz. 233902-1/4 4 blz., 233902.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
58 Citaten (Scopus)
215 Downloads (Pure)

ALD4PV Workshop Eindhoven

Garcia-Alonso Garcia, D., Creatore, M. & Kessels, W. M. M., 2014, In : Nevac Blad. 52, 1, blz. 12-14 3 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelProfessioneel

Open Access
Bestand
145 Citaten (Scopus)
39 Downloads (Pure)

ALD of SrTiO3 and Pt for Pt/SrTiO3/Pt MIM structures : growth and crystallization study

Longo, V., Roozeboom, F., Kessels, W. M. M. & Verheijen, M. A., 2013, Atomic Layer Deposition Applications 9. Roozeboom, F. & Delabie, A. (redactie). Pennington, NJ, USA: The Electrochemical Society, blz. 153-162 (ECS Transactions; vol. 58).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

3 Citaten (Scopus)
2 Downloads (Pure)

Alternative technology concepts for low-cost and high-speed 2D and 3D interconnect manufacturing

Roozeboom, F., Smets, M., Kniknie, B., Hoppenbrouwers, M., Dingemans, G., Keuning, W., Kessels, W. M. M., Pohl, R. & Huis In't Veld, A. J., 1 jan 2013, blz. 1-6. 6 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPaperAcademic

1 Citaat (Scopus)

Aluminum oxide and other ALD materials for Si surface passivation

Dingemans, G. & Kessels, W. M. M., 2011, Atomic Layer Deposition Applications 7. Elam, J., De Gendt, S., Londergan, A., Bent, S. & et al., X. (redactie). blz. 293-301 (ECS Transactions; vol. 41).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

26 Citaten (Scopus)
2 Downloads (Pure)

Analysis of blister formation in spatial ALD Al2O3 for silicon surface passivation

Hennen, L., Granneman, E. H. A. & Kessels, W. M. M., 26 nov 2012, Program - 38th IEEE Photovoltaic Specialists Conference, PVSC 2012. blz. 1049-1054 6 blz. 6317783

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

20 Citaten (Scopus)

A new concept for spatially divided deep reactive ion etching with ALD based passivation

Roozeboom, F., Kniknie, B. J., Lankhorst, A. M., Winands, G. J. J., Knaapen, R., Smets, M., Poodt, P., Dingemans, G., Keuning, W. & Kessels, W. M. M., 2013, Processing Materials of 3D Interconnects, Damascene and Electronics Packaging 4 (PRiME 2012), October 7, 2012 - October 12, 2012, Honolulu, HI. Kondo, K., Pdolaha-Murphy, E. J., Mathad, S. & Roozeboom, F. (redactie). Pennington, New Jersey: The Electrochemical Society, blz. 73-82 (ECS Transactions; vol. 50).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

2 Citaten (Scopus)
2 Downloads (Pure)

A new concept for spatially divided Deep Reactive Ion Etching with ALD-based passivation

Roozeboom, F., Kniknie, B. J., Lankhorst, A. M., Winands, G. J. J., Knaapen, R., Smets, M., Poodt, P., Dingemans, G., Keuning, W. & Kessels, W. M. M., 2012, Proceedings of the E-MRS 2012 Spring meeting, symposium M : more than Moore : novel materials approaches for functionalised silicon based microelectronics, 14-18 May 2012, Strassbourg, France. Institute of Physics, blz. 012001- (IOP Conference Series: Material Science and Engineering; vol. 41).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Open Access
Bestand
8 Citaten (Scopus)
187 Downloads (Pure)

Anti-stiction coating for mechanically tunable photonic crystal devices

Petruzzella, M., Zobenica, Cotrufo, M., Zardetto, V., Mameli, A., Pagliano, F., Koelling, S., Van Otten, F. W. M., Roozeboom, F., Kessels, W. M. M., van der Heijden, R. W. & Fiore, A., 19 feb 2018, In : Optics Express. 26, 4, blz. 3882-3891 10 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
4 Citaten (Scopus)
97 Downloads (Pure)

Area-selective atomic layer deposition: Role of surface chemistry

Mameli, A., Karasulu, B., Verheijen, M. A., Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M. & Roozeboom, F., 1 jan 2017, ECS Transactions. De Gendt, S., Dendooven, J., Roozeboom, F., Liu, C., Elam, J. W. & van der Straten, O. (redactie). 3 redactie Electrochemical Society, Inc., Vol. 80. blz. 39-48 10 blz. (ECS Transactions; vol. 80, nr. 3).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

5 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Area-selective atomic layer deposition of In 2O 3:H Using a μ-plasma printer for local area activation

Mameli, A., Kuang, Y., Aghaee, M., Ande, C. K., Karasulu, B., Creatore, M., Mackus, A. J. M., Kessels, W. M. M. & Roozeboom, F., 14 feb 2017, In : Chemistry of Materials. 29, 3, blz. 921-925 5 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
23 Citaten (Scopus)
109 Downloads (Pure)

Area-selective atomic layer deposition of metal oxides on noble metals through catalytic oxygen activation

Singh, J. J., Thissen, N. F. W., Kim, W-H., Johnson, H., Kessels, W. M. M., Bol, A. A., Bent, S. F. & Mackus, A. J. M., 13 feb 2018, In : Chemistry of Materials. 30, 3, blz. 663–670 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
36 Citaten (Scopus)
177 Downloads (Pure)

Area-selective atomic layer deposition of platinum using photosensitive polyimide

Vervuurt, R. H. J., Sharma, A., Jiao, Y., Kessels, W. M. M. & Bol, A. A., 1 sep 2016, In : Nanotechnology. 27, 40, blz. 1-6 405302.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

15 Citaten (Scopus)
5 Downloads (Pure)

Area-selective atomic layer deposition of SiO2 using acetylacetone as a chemoselective inhibitor in an ABC-type cycle

Mameli, A., Merkx, M. J. M., Karasulu, B., Roozeboom, F., Kessels, W. M. M. & MacKus, A. J. M., 26 sep 2017, In : ACS Nano. 11, 9, blz. 9303-9311 9 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
45 Citaten (Scopus)
247 Downloads (Pure)

Area-selective atomic layer deposition of ZnO by area activation using electron beam-induced deposition

Mameli, A., Karasulu, B., Verheijen, M., Barcones Campo, B., Macco, B., Mackus, A., Kessels, E. & Roozeboom, F., 26 feb 2019, In : Chemistry of Materials. 31, 4, blz. 1250-1257 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
12 Citaten (Scopus)
59 Downloads (Pure)

Area-selective deposition of Ruthenium by combining atomic layer deposition and selective etching

Vos, M. F. J., Chopra, S. N., Verheijen, M. A., Ekerdt, J. G., Agarwal, S., Kessels, W. M. M. & Mackus, A. J. M., 22 mei 2019, In : Chemistry of Materials. 31, 11, blz. 3878-3882 5 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
10 Citaten (Scopus)
133 Downloads (Pure)

A spatial ALD oxide passivation module in an all-spatial etch-passivation cluster concept

Roozeboom, F., Van Den Bruele, F., Creyghton, Y., Poodt, P. & Kessels, W. M. M., 2015, Atomic Layer Deposition Applications 11. 7 redactie Electrochemical Society, Inc., Vol. 69. blz. 243-258 16 blz. (ECS Transactions; vol. 69).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

1 Citaat (Scopus)
4 Downloads (Pure)

Atomic hydrogen induced defect kinetics in amorphous silicon

Peeters, F. J. J., Zheng, J., Aarts, I. M. P., Pipino, A. C. R., Kessels, W. M. M. & van de Sanden, M. C. M., 1 sep 2017, In : Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 35, 5, 10 blz., 05C307.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
4 Citaten (Scopus)
81 Downloads (Pure)

Atomic layer deposited molybdenum oxide for the hole-selective contact of silicon solar cells

Bivour, M., Macco, B., Temmler, J., Kessels, W. M. M. & Hermle, M., 23 sep 2016, In : Energy Procedia. 92, blz. 443-449 7 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
35 Citaten (Scopus)
515 Downloads (Pure)

Atomic-layer deposited Nb2O5 as transparent passivating electron contact for c-Si solar cells

Macco, B., Black, L. E., Melskens, J., van de Loo, B. W. H., Berghuis, W. J. H., Verheijen, M. A. & Kessels, W. M. M., 1 sep 2018, In : Solar Energy Materials and Solar Cells. 184, blz. 98-104 7 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
23 Citaten (Scopus)
117 Downloads (Pure)

Atomic-layer deposited passivation schemes for c-Si solar cells

van de Loo, B. W. H., Macco, B., Melskens, J., Verheijen, M. A. & Kessels, W. M. M. E., 18 nov 2016, 2016 IEEE 43rd Photovoltaic Specialists Conference, PVSC 2016. Institute of Electrical and Electronics Engineers, Vol. 2016-November. blz. 3655-3660 6 blz. 7750356

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

1 Citaat (Scopus)
2 Downloads (Pure)

Atomic-layer deposited passivation schemes for c-Si solar cells

van de Loo, B. W. H., Macco, B., Melskens, J., Verheijen, M. A. & Kessels, W. M. M. E., 25 mei 2018, 2017 IEEE 44th Photovoltaic Specialist Conference, PVSC 2017. Piscataway: Institute of Electrical and Electronics Engineers, blz. 1-6 6 blz.

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Atomic-layer-deposited transparent electrodes for silicon heterojunction solar cells

Demaurex, B., Seif, J. P., Smit, S., Macco, B., Kessels, W. M. M., Geissbühler, J., Wolf, De, S. & Ballif, C., 2014, In : IEEE Journal of Photovoltaics. 4, 6, blz. 1387-1396 10 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

35 Citaten (Scopus)
2 Downloads (Pure)

Atomic layer deposited ZnO:B as transparent conductive oxide for silicon heterojunction solar cells

Gatz, H. A., Koushik, D., Rath, J. K., Kessels, W. M. M. & Schropp, R. E. I., aug 2016, In : Energy Procedia. 92, blz. 624-632

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
9 Citaten (Scopus)
83 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition

Knoops, H. C. M., Potts, S. E., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2015, Handbook of crystal growth : thin films and epitaxy (second edition). Kuech, T. (redactie). Elsevier, blz. 1101-1134

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureHoofdstukAcademicpeer review

26 Citaten (Scopus)
15 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition for graphene device integration

Vervuurt, R. H. J., Kessels, W. M. M. & Bol, A. A., 22 sep 2017, In : Advanced Materials Interfaces. 4, 18, 19 blz., 1700232.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
28 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition for high-efficiency crystalline silicon solar cells

Macco, B., van de Loo, B. W. H. & Kessels, W. M. M., 2017, Atomic Layer Deposition in Energy Conversion Applications. Bachmann, J. (redactie). Weinheim: Wiley-VCH Verlag, blz. 41-99

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureHoofdstukAcademicpeer review

Atomic layer deposition for nanostructured Li-ion batteries

Knoops, H. C. M., Donders, M. E., Sanden, van de, M. C. M., Notten, P. H. L. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 30, 1, blz. 010801-1/10 10 blz., 010801.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
81 Citaten (Scopus)
186 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition for perovskite solar cells: Research status, opportunities and challenges

Zardetto, V., Williams, B. L., Perrotta, A., Di Giacomo, F., Verheijen, M. A., Andriessen, R., Kessels, W. M. M. & Creatore, M., mrt 2017, In : Sustainable Energy & Fuels. 1, 1, blz. 30-55 26 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
64 Citaten (Scopus)
1 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition for photovoltaics : applications and prospects for solar cell manufacturing

van Delft, J. A., Garcia-Alonso Garcia, D. & Kessels, W. M. M., 2012, In : Semiconductor Science and Technology. 27, 7, blz. 1-13 074002.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

139 Citaten (Scopus)
5 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of aluminum fluoride using Al(CH3)3 and SF6 plasma

Vos, M. F. J., Knoops, H. C. M., Synowicki, R. A., Kessels, W. M. M. & Mackus, A. J. M., 11 sep 2017, In : Applied Physics Letters. 111, 11, 5 blz., 113105.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
5 Citaten (Scopus)
177 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of B-doped ZnO using triisopropyl borate as the boron precursor and comparison with Al-doped ZnO

Garcia - Alonso, D., Potts, S. E., Helvoirt, van, C. A. A., Verheijen, M. A. & Kessels, W. M. M., 2015, In : Journal of Materials Chemistry C. 3, 13, blz. 3095-3107 13 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
35 Citaten (Scopus)
257 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of cobalt phosphate thin films for the oxygen evolution reaction

Di Palma, V., Zafeiropoulos, G., Goldsweer, T., Kessels, W. M. M., van de Sanden, M. C. M., Creatore, M. & Tsampas, M. N., 1 jan 2019, In : Electrochemistry Communications. 98, blz. 73-77 5 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
8 Citaten (Scopus)
109 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of cobalt using H2-, N2-, and NH3-based plasmas: on the role of the Co-reactant

Vos, M. F. J., van Straaten, G., Kessels, W. M. M. & Mackus, A. J. M., 4 okt 2018, In : Journal of Physical Chemistry C. 122, 39, blz. 22519-22529 11 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
13 Citaten (Scopus)
186 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of HfO2 using HfCp(NMe2)3 and O2 plasma

Sharma, A., Longo, V., Verheijen, M. A., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2017, In : Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 35, 1, 8 blz., 01B130.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
7 Citaten (Scopus)
860 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of highly dispersed Pt nanoparticles on a high surface area electrode backbone for electrochemical promotion of catalysis

Hajar, Y., Di Palma, V., Kyriakou, V., Verheijen, M. A., Baranova, E. A., Vernoux, P., Kessels, W. M. M., Creatore, M., van de Sanden, M. C. M. & Tsampas, M., nov 2017, In : Electrochemistry Communications. 84, blz. 40-44 5 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

10 Citaten (Scopus)
2 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of highly transparent platinum counter electrodes for metal/polymer flexible dye-sensitized solar cells

Garcia - Alonso, D., Zardetto, V., Mackus, A. J. M., Rossi, De, F., Verheijen, M. A., Brown, T. M., Kessels, W. M. M. & Creatore, M., 2014, In : Advanced Energy Materials. 4, 4, blz. 1300831-1/8 8 blz., 1300831.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

23 Citaten (Scopus)
9 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of high-mobility hydrogen-doped zinc oxide

Macco, B., Knoops, H. C. M., Verheijen, M. A., Beyer, W., Creatore, M. & Kessels, W. M. M., dec 2017, In : Solar Energy Materials and Solar Cells. 173, blz. 111-119 9 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
21 Citaten (Scopus)
140 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of high-purity palladium films from Pd(hfac)2 and H2 and O2 plasmas

Weber, M. J., Mackus, A. J. M., Verheijen, M. A., Longo, V., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2014, In : Journal of Physical Chemistry C. 118, 6, blz. 8702-8711 10 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

38 Citaten (Scopus)
3 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of in 2O 3: H from InCp and H 2O/O 2: Microstructure and isotope labeling studies

Wu, Y., Macco, B., Vanhemel, D., Kölling, S., Verheijen, M. A., Koenraad, P. M., Kessels, W. M. M. & Roozeboom, F., 11 jan 2017, In : ACS Applied Materials & Interfaces. 9, 1, blz. 592–601 10 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

5 Citaten (Scopus)
6 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of LiCoO2 thin film electrodes for all-solid-state Li-ion micro-batteries

Donders, M. E., ArnoldBik, W. M., Knoops, H. C. M., Kessels, W. M. M. & Notten, P. H. L., 2013, In : Journal of the Electrochemical Society. 160, 5, blz. A3066-A3071

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
53 Citaten (Scopus)
658 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of molybdenum oxide from (NtBu)2(NMe2)2Mo and O2 plasma

Vos, M., Macco, B., Thissen, N. F. W., Bol, A. A. & Kessels, W. M. M., 2016, In : Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 34, 1, blz. 01A103-1/8 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
56 Citaten (Scopus)
752 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of nanomaterials for Li-ion batteries, fuel cells, and solar cells

Kessels, W. M. M., Knoops, H. C. M., Weber, M. J., Mackus, A. J. M. & Creatore, M., 2013, In : Material Matters. 8, 4, blz. 117-117 1 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelPopulair

2 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of Pd and Pt nanoparticles for catalysis: on the mechanisms of nanoparticle formation

Mackus, A. J. M., Weber, M. J., Thissen, N. F. W., Garcia-Alonso Garcia, D., Vervuurt, R. H. J., Assali, S., Bol, A. A., Verheijen, M. A. & Kessels, W. M. M., 2016, In : Nanotechnology. 27, 3, blz. 1-13 13 blz., 034001.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

50 Citaten (Scopus)
15 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of Ru from CpRu(CO2)Et using O2 gas and O2 plasma

Leick, N., Verkuijlen, R. O. F., Lamagna, L., Langereis, E., Rushworth, S. A., Roozeboom, F., Sanden, van de, M. C. M. & Kessels, W. M. M., 2011, In : Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films. 29, 2, blz. 021016-1/7 7 blz., 021016.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
40 Citaten (Scopus)
112 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of silicon nitride from Bis(tert-butylamino)silane and N2 plasma

Knoops, H. C. M., Braeken, E. M. J., de Peuter, K., Potts, S. E., Haukka, S., Pore, V. & Kessels, W. M. M., 2015, In : ACS Applied Materials & Interfaces. 7, 35, blz. 19857-19862

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

49 Citaten (Scopus)
16 Downloads (Pure)

Atomic layer deposition of silicon nitride from bis(tertiary-butyl-amino)silane and N2 plasma studied by in situ gas phase and surface infrared spectroscopy

Bosch, R. H. E. C., Cornelissen, L. E., Knoops, H. C. M. & Kessels, W. M. M., 20 jul 2016, In : Chemistry of Materials. 28, 16, blz. 5864–5871 8 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
16 Citaten (Scopus)
186 Downloads (Pure)