3D-deflectometry : fast nanotopography measurement for the semiconductor industry

K.K. Szwedowicz

    Onderzoeksoutput: ScriptieDissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)

    3219 Downloads (Pure)
    Originele taal-2Engels
    KwalificatieDoctor in de Filosofie
    Toekennende instantie
    • Applied Physics
    Begeleider(s)/adviseur
    • Beijerinck, Herman, Promotor
    • Tijhuis, Anton, Promotor
    • Bäumer, Stefan M.B., Co-Promotor, Externe Persoon
    Datum van toekenning8 nov 2006
    Plaats van publicatieEindhoven
    Uitgever
    Gedrukte ISBN's978-90-386-0679-8
    DOI's
    StatusGepubliceerd - 2006

    Citeer dit