Vingerafdruk
Duik in de onderzoeksthema's van '2D dopant profiling of advanced CMOS technologies by preferential etching, comparison with 2D process simulations'. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.- Sorteer per
- Gewicht
- Alfabetische volgorde
2D dopant profiling of advanced CMOS technologies by preferential etching, comparison with 2D process simulations
C.J..J. Dachs, M. A. Verheijen, M. Kaiser, P. A. Stolk, Y. V. Ponomarev
Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/Congresprocedure › Conferentiebijdrage › Academic › peer review
1
Citaat
(Scopus)