Projectdetails
Omschrijving
Hard X-Ray source for wafer metrology
| Status | Geëindigd |
|---|---|
| Effectieve start/einddatum | 1/01/20 → 10/12/24 |
Topsector
- TKI-HTSM
Vingerafdruk
Verken de onderzoeksgebieden die bij dit project aan de orde zijn gekomen. Deze labels worden gegenereerd op basis van de onderliggende prijzen/beurzen. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.