Projectdetails
Omschrijving
Because device dimensions in the semiconductor industry are decreasing (currently down to about 10 nanometres), the impact of nanoparticles on the manufacturing process is increasing. Ever smaller particles can disrupt the operation of a microchip. Therefore, there is a need for a fundamentally new method. This research examines whether the application of plasma can help minimise the impact of nanoparticles.
| Korte titel | HTSM-TKI |
|---|---|
| Status | Geëindigd |
| Effectieve start/einddatum | 1/02/17 → 21/12/21 |
Vingerafdruk
Verken de onderzoeksgebieden die bij dit project aan de orde zijn gekomen. Deze labels worden gegenereerd op basis van de onderliggende prijzen/beurzen. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.