Next generation of ultrahigh precision power amplifiers for semiconductors lithography

Project: Onderzoek direct

Projectdetails

Omschrijving

The latest generations of lithography machines place very high demands on the power amplifiers required to capture ever smaller details at sub-nanometre dimensions. To meet these demands, an entirely new architecture for these amplifiers needs to be developed. This project aims to contribute to development of such architecture. The amplifiers can also be applied in other industries, such as automotive.
StatusGeëindigd
Effectieve start/einddatum1/05/1721/12/21

Vingerafdruk

Verken de onderzoeksgebieden die bij dit project aan de orde zijn gekomen. Deze labels worden gegenereerd op basis van de onderliggende prijzen/beurzen. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.