Doorgaan naar hoofdnavigatie
Doorgaan naar zoeken
Ga verder naar hoofdinhoud
Onderzoeksportaal Eindhoven University of Technology Startpagina
Help en veelgestelde vragen
English
Nederlands
Startpagina
Onderzoekers
Onderzoeksoutput
Organisatie
Activiteiten
Projecten
Prijzen
Pers/Media
Faciliteiten
Datasets
Cursussen
Onderzoeksgebieden
Afstudeerscripties
Zoeken op expertise, naam of affiliatie
TKI-HTSM PPS-toeslag Advanced piezo-electric water stage for next generation lithography and metrology application - ASML project 2: Control architecture and design for a piezo-electric wafer stage
Nawijn, Hiltje
(Project communicatie medewerker)
van der Hagen, Daniëlle
(Project communicatie medewerker)
Tóth, Roland
(Project Manager)
Van den Hof, Paul M.J.
(Projectmedewerker)
Bosman Barros, Clarisse
(Projectmedewerker)
Butler, Hans
(Projectmedewerker)
Control of High-Precision Mechatronic Systems Lab
Dynamic Networks: Data-Driven Modeling and Control
Machine Learning for Modelling and Control
High Tech Systems Center
EAISI
Electrical Engineering
Project
:
Third tier
Overzicht
Projectdetails
Status
Actief
Effectieve start/einddatum
1/01/18
→
30/11/25
Alle bekijken
Minder bekijken
Topsector
TKI-HTSM