3DAM

Project: Onderzoek direct

Projectdetails

Omschrijving

3DAM will develop a new generation of metrology and characterization tools and methodologies, needed to enable the development and introduction of the next semiconductor technology nodes.
StatusGeëindigd
Effectieve start/einddatum1/04/161/04/19

Mede gefinancierd door

  • TKI-HTSM

Vingerafdruk

Verken de onderzoeksgebieden die bij dit project aan de orde zijn gekomen. Deze labels worden gegenereerd op basis van de onderliggende prijzen/beurzen. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.