Projectdetails
Omschrijving
3DAM will develop a new generation of metrology and characterization tools and methodologies, needed to enable the development and introduction of the next semiconductor technology nodes.
Status | Geëindigd |
---|---|
Effectieve start/einddatum | 1/04/16 → 1/04/19 |
Vingerafdruk
Verken de onderzoeksgebieden die bij dit project aan de orde zijn gekomen. Deze labels worden gegenereerd op basis van de onderliggende prijzen/beurzen. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.