• 413 Citaties
1994 …2020

Onderzoeksresultaten per jaar

Als u wijzigingen in Pure hebt gemaakt, zullen deze hier binnenkort zichtbaar zijn.

Onderzoeksoutput

Filter
Artikel recenseren
2019

EUV-induced plasma: a peculiar phenomenon of a modern lithographic technology

Beckers, J., van de Ven, T., van der Horst, R., Astakhov, D. . I. & Banine, V., 2 jul 2019, In : Applied Sciences. 9, 14, 23 blz., 2827.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftArtikel recenserenAcademicpeer review

Open Access
Bestand
3 Citaten (Scopus)
57 Downloads (Pure)