• 413 Citaties
1994 …2020

Onderzoeksresultaten per jaar

Als u wijzigingen in Pure hebt gemaakt, zullen deze hier binnenkort zichtbaar zijn.

Onderzoeksoutput

Filter
Poster
2016

First-ever measurements of ion energy distribution functions in EUV induced plasma

van de Ven, T. H. M., Reefman, P., Osorio, E. A., Banine, V. Y. & Beckers, J., 16 mrt 2016.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

Open Access
Bestand
71 Downloads (Pure)

Ion fluxes and energies increase with pressure in EUV-induced H2 plasmas

van de Ven, T. H. M., Reefman, P., de Meijere, C. A., van der Horst, R., Banine, V. Y. & Beckers, J., 13 okt 2016.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

2 Downloads (Pure)
2015

Absolute calibration of an energy resolved ion mass spectrometer and Retarding Field Energy Analyzer

van de Ven, T. H. M., Banine, V. Y., Osorio, E. A. & Beckers, J., 4 dec 2015.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

Open Access
Bestand
88 Downloads (Pure)

Energy resolved mass spectrometry in EUV-induced plasmas

Ven, van de, T. H. M., Beckers, J., Osorio, E. A. & Banine, V. Y., 2015.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

Open Access
Bestand
410 Downloads (Pure)

Expansion of the electrons in an EUV-induced plasma in argon

van der Horst, R. M., Beckers, J., Osorio, E. A. & Banine, V. Y., 2015.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

2014

Ion energies in EUV induced plasma: Measuring methods

Ven, van de, T. H. M., Beckers, J., Osorio, E. A., Banine, V. Y. & Kroesen, G. M. W., 2014.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

Open Access
Bestand
30 Downloads (Pure)
2008

Ion mitigation in SN-based EUV sources using a magnetic field

Soer, W. J., Gielissen, K., Herpen, van, M. W., Jak, M. & Banine, V. Y., 2008, blz. 25-.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

1 Downloads (Pure)

Laser shockwave cleaning of EUV reticles

Lammers, N. A., Scaccabarozzi, L., Banine, V. Y. & Mullen, van der, J. J. A. M., 2008.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

2007

Characterization and mitigation of debris from a Sn-based EUV source

Gielissen, K., Banine, V. Y., Koshelev, K. N. & Mullen, van der, J. J. A. M., 2007.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

Debris-resistant liquid EUV mirrors

Soer, W., Herpen, van, M., Gielissen, K. & Banine, V. Y., 2007.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

2 Downloads (Pure)

Debris-resistant liquid EUV mirrors

Soer, W., Herpen, van, M., Gielissen, K. & Banine, V. Y., 2007.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

Monitoring optics contamination

Velden, van der, M. H. L., Sidelnikov, Y. V., Moors, J. H. J., Banine, V. Y. & Mullen, van der, J. J. A. M., 2007.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

2006

Low energy sputtering

van der Velden, M. H. L., Allain, J. P., Banine, V. Y. & Mullen, van der, J. J. A. M., 2006, blz. B21-.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

1 Downloads (Pure)