• 413 Citaties
1994 …2020

Onderzoeksresultaten per jaar

Als u wijzigingen in Pure hebt gemaakt, zullen deze hier binnenkort zichtbaar zijn.

Onderzoeksoutput

Filter
Conferentiebijdrage
2015

The temporal evolution of electrons in EUV-induced plasmas

Horst, van der, R. M., Beckers, J., Osorio, E. A. & Banine, V. Y., 28 jul 2015, Proceedings of the 32st International Conference of Plasmas and Ionized Gases.

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Open Access
Bestand
28 Downloads (Pure)
2014

The electron density in an EUV-generated plasma

Horst, van der, R. M., Beckers, J., Nijdam, S., Osorio, E. A., Banine, V. Y. & Kroesen, G. M. W., 2014, Presentation at the CP3E, 27-5-2014, Veldhoven, The Netherlands.

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

2009

Ion beam production at a EUV emitting discharge plasma

Gielissen, K., Sidelnikov, Y., Glushkov, D., Banine, V. Y., Koshelev, K. N. & Mullen, van der, J. J. A. M., 2009, Proceedings of the 21th NNV-Symposium Plasma Physics & Radiation Technology 2009, 3-4 March 2009, Lunteren, The Netherlands. Lunteren, The Netherlands, blz. O9-

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

2008

Influence of source parameters on the fast ionic debris emission of a Sn-based EUV emitting discharge plasma

Gielissen, K., Sidelnikov, Y., Soer, W. J., Herpen, van, M. W., Glushkov, D., Banine, V. Y. & Mullen, van der, J. J. A. M., 2008, Proceedings of the 20st Symposium Plasma Physics & Radiation Technology 2008, 4-5 March 2008, Lunteren, The Netherlands.

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

The characterization of the ion beam from a Sn-based DPP with respect to the ignition parameters

Gielissen, K., Sidelnikov, Y., Soer, W. J., Herpen, van, M. W., Glushkov, D., Banine, V. Y. & Mullen, van der, J. J. A. M., 2008, Proceedings of the International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography 2008 (2008 EUV Symposium), 28 September-1 October 2008, Lake Tahoe, USA.

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

The characterization of the ion beam from a Sn-based DPP with respect to the ignition parameters

Gielissen, K., Sidelnikov, Y., Soer, W. J., Herpen, van, M. W., Glushkov, D., Banine, V. Y. & Mullen, van der, J. J. A. M., 2008, Proceedings of the 23rd Symposium Plasma Physics & Radiation Technology 2008, 16-19 June 2008, Prague, Czech Republic. blz. 36-36

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

2007

Characterization of debris emitted from a Sn-based DPP EUV-source

Gielissen, K., Sidelnikov, Y., Banine, V. Y. & Mullen, van der, J. J. A. M., 2007, Abstract presented at the 6th International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography (2007 EUVL Symposium), 28-31 October, 2007, Sappora, Japan.

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Characterization of debris from an extreme UV emitting Sn-plasma

Gielissen, K., Banine, V. Y., Koshelev, K. N. & Mullen, van der, J. J. A. M., 2007, Abstract presented at the 19th Symposium Plasma Physics & Radiation Technology, 6-8 March 2007, Lunteren, The Netherlands.

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

2006

First performance results of the ASML alplia demo tool

Meiling, H., Meijer, H., Banine, V., Moors, R., Groeneveld, R., Voorma, H. J., Mickan, U., Wolschrijn, B., Mertens, B., van Baars, G., Kürz, P. & Harned, N., 10 jul 2006, Emerging Lithographic Technologies X. Lercel, M. (redactie). SPIE, 12 blz. 615108. (Proceedings of SPIE; vol. 6151).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

80 Citaten (Scopus)
2005

Sub-ns Thomson scattering applied to an EUV emitting vacuum arc discharge in tin vapor

Kieft, E. R., Mullen, van der, J. J. A. M. & Banine, V. Y., 2005, Proceedings of the 27th International Conference on Phenomena in Ionised Gases (XXVII ICPIG 2005) 17-22 July 2005, Eindhoven, the Netherlands. Veldhuizen, van, E. M. (redactie). Eindhoven: Eindhoven University of Technology, blz. 08-343-1/5

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

2004

Active and passive spectroscopy on EUV-producing discharge plasmas

Kieft, E. R., Mullen, van der, J. J. A. M., Kroesen, G. M. W., Banine, V. Y. & Koshelev, K. N., 2004, E-MRS Spring Meeting 2004, Strasbourg, France, May 24 – 28, 2004.

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Extreme ultraviolet spectra of discharge sources in xenon and tin: comparison of computer simulations and experimental results

Kieft, E. R., Garloff, K., Mullen, van der, J. J. A. M. & Banine, V. Y., 2004, The 3rd International EUVL Symposium, Miyazaki, Japan, 1 – 4 November, 2004.

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Radiation driven plasma

Velden, van der, M. H. L., Moors, J. H. J., Banine, V. Y., Mullen, van der, J. J. A. M. & Kroesen, G. M. W., 2004, The 3rd International EUVL Symposium, Miyazaki, Japan, 1 – 4 November, 2004.

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

1 Downloads (Pure)
2003

Time-resolved pinhole imaging and spectroscopy on discharge sources of EUV radiation

Kieft, E. R., Mullen, van der, J. J. A. M., Banine, V. Y., Koshelev, K. N. & Kroesen, G. M. W., 2003, Proceedings of PPPT-4, the IV International Conference on Plasma Physics and Plasma Technology. Belarus, Minsk, blz. 356-359

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

2002

Time-resolved pinhole imaging and EUV spectroscopy on the Philips EUV hollow cathode discharge

Kieft, E. R., Mullen, van der, J. J. A. M., Banine, V. Y. & Kroesen, G. M. W., 2002, Joint Conference ESCAM PIG 16. Sixteenth European Conference on Atomic and Molecular Physics of Ionized Gases. ICRP 5 Fifth International Conference on Reactive Plasma. Conference Proceedings. Grenoble, France: Univ. Joseph Fourier, blz. 293-294

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

1995

Shock tube experiments on ignition of pulverised coal particles

Banine, V. Y., Commissaris, F. A. C. M. & Veefkind, A., 1995, Proc. 8th International Conference on Coal Science. blz. 591-594

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

The reactivity of pulverised coal and char in shock tube experiments with O2 and CO2

Commissaris, F. A. C. M., Banine, V. Y. & Veefkind, A., 1995, Proc. 8th International Conference on Coal Science. blz. 519-522

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

1994

Ignition and early stage of coal particle combustion

Banine, V. Y., Veefkind, A., Ivanov, V. A. & Bityurin, V. A., 1994, Proceedings of the International Conference on Coal Science, Banff, Alberta, Canada, 12 September 1994. Vol. 2. blz. 31-34

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Numerical modelling of coal particles ignition in shock tube

Ivanov, V. A., Bityurin, V. A., Banine, V. Y. & Veefkind, A., 1994, Proceedings of 1st National Conference on Heat Transfer, Moscow, Russia, 21 November 1994. blz. 25-28

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review