• 413 Citaties
1994 …2020

Onderzoeksresultaten per jaar

Als u wijzigingen in Pure hebt gemaakt, zullen deze hier binnenkort zichtbaar zijn.

Onderzoeksoutput

2020
Open Access
2019

Energy distribution functions for ions from pulsed EUV-induced plasmas in low pressure N2-diluted H2 gas

Beckers, J., van de Ven, T., de Meijere, C. A., van der Horst, R., van Kampen, M. & Banine, V., 2 apr 2019, In : Applied Physics Letters. 114, 13, 5 blz., 133502.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
5 Citaten (Scopus)
9 Downloads (Pure)

EUV-induced plasma: a peculiar phenomenon of a modern lithographic technology

Beckers, J., van de Ven, T., van der Horst, R., Astakhov, D. . I. & Banine, V., 2 jul 2019, In : Applied Sciences. 9, 14, 23 blz., 2827.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftArtikel recenserenAcademicpeer review

Open Access
Bestand
3 Citaten (Scopus)
57 Downloads (Pure)

Mapping electron dynamics in highly transient EUV photon-induced plasmas: a novel diagnostic approach using multi-mode microwave cavity resonance spectroscopy

Beckers, J., van de Wetering, F. M. J. H., Platier, B., van Ninhuijs, M. A. W., Brussaard, G. J. H., Banine, V. Y. & Luiten, O. J., 16 jan 2019, In : Journal of Physics D: Applied Physics. 52, 3, 17 blz., 034004.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

11 Citaten (Scopus)
7 Downloads (Pure)

Time-resolved ion energy distribution functions in the afterglow of an EUV-induced plasma

Beckers, J., van de Ven, T. & Banine, V., 28 okt 2019, In : Applied Physics Letters. 115, 18, 4 blz., 183502.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
3 Citaten (Scopus)
23 Downloads (Pure)
2018

Analysis of retarding field energy analyzer transmission by simulation of ion trajectories

van de Ven, T. H. M., de Meijere, C. A., van der Horst, R. M., van Kampen, M., Banine, V. Y. & Beckers, J., 1 apr 2018, In : Review of Scientific Instruments. 89, 4, 11 blz., 043501.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
5 Citaten (Scopus)
71 Downloads (Pure)

Ion energy distributions in highly transient EUV induced plasma in hydrogen

van de Ven, T. H. M., Reefman, P., de Meijere, C. A., van der Horst, R. M., van Kampen, M., Banine, V. Y. & Beckers, J., 14 feb 2018, In : Journal of Applied Physics. 123, 6, blz. 1-6 063301.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
11 Citaten (Scopus)
139 Downloads (Pure)
2016

Exploring the electron density in plasma induced by EUV radiation: I. Experimental study in hydrogen

Van Der Horst, R. M., Beckers, J., Osorio, E. A., Astakhov, D. I., Goedheer, W. J., Lee, C. J., Ivanov, V. V., Krivtsum, V. M., Koshelev, K. N., Lopaev, D. V., Bijkerk, F. & Banine, V. Y., 10 mrt 2016, In : Journal of Physics D: Applied Physics. 49, 14, blz. 1-9 145203.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

17 Citaten (Scopus)
5 Downloads (Pure)

First-ever measurements of ion energy distribution functions in EUV induced plasma

van de Ven, T. H. M., Reefman, P., Osorio, E. A., Banine, V. Y. & Beckers, J., 16 mrt 2016.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

Open Access
Bestand
71 Downloads (Pure)

Investigation of ion energy distribution functions in EUV-induced plasmas by ion mass spectrometry

van de Ven, T. H. M., Reefman, P., Osorio, E. A., Banine, V. Y. & Beckers, J., 22 jun 2016. 1 blz.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresAbstractAcademic

Open Access
Bestand
79 Downloads (Pure)

Ion fluxes and energies increase with pressure in EUV-induced H2 plasmas

van de Ven, T. H. M., Reefman, P., de Meijere, C. A., van der Horst, R., Banine, V. Y. & Beckers, J., 13 okt 2016.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

2 Downloads (Pure)

The influence of the EUV spectrum on plasma induced by EUV radiation in argon and hydrogen gas

Van Der Horst, R. M., Osorio, E. A., Banine, V. Y. & Beckers, J., 1 feb 2016, In : Plasma Sources Science and Technology. 25, 1, 7 blz., 015012.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

10 Citaten (Scopus)
4 Downloads (Pure)

Thermalization of electrons in decaying extreme ultraviolet photons induced low pressure argon plasma

Beckers, J., van der Horst, R., Osorio, E. A., Kroesen, G. M. W. & Banine, V. Y., 6 apr 2016, In : Plasma Sources Science and Technology. 25, 3, blz. 1-8 035010.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

13 Citaten (Scopus)
14 Downloads (Pure)
2015

Absolute calibration of an energy resolved ion mass spectrometer and Retarding Field Energy Analyzer

van de Ven, T. H. M., Banine, V. Y., Osorio, E. A. & Beckers, J., 4 dec 2015.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

Open Access
Bestand
88 Downloads (Pure)

Dynamics of the spatial electron density distribution of EUV-induced plasmas

van der Horst, R. M., Beckers, J., Osorio, E. A. & Banine, V. Y., 4 nov 2015, In : Journal of Physics D: Applied Physics. 48, 43, 5 blz., 432001.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

14 Citaten (Scopus)
3 Downloads (Pure)

Energy resolved mass spectrometry in EUV-induced plasmas

Ven, van de, T. H. M., Beckers, J., Osorio, E. A. & Banine, V. Y., 2015.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

Open Access
Bestand
410 Downloads (Pure)

Expansion of the electrons in an EUV-induced plasma in argon

van der Horst, R. M., Beckers, J., Osorio, E. A. & Banine, V. Y., 2015.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

Exploring the electron density in plasmas induced by extreme ultraviolet radiation in argon

Horst, van der, R. M., Beckers, J., Osorio, E. A. & Banine, V. Y., 2015, In : Journal of Physics D: Applied Physics. 48, 28, blz. 285203-1/9

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

18 Citaten (Scopus)
5 Downloads (Pure)

Radiating plasma species density distribution in EUV-induced plasma in argon: a spatiotemporal experimental study

Van Der Horst, R. M., Beckers, J., Osorio, E. A., van de Ven, T. H. M. & Banine, V. Y., 1 dec 2015, In : Plasma Sources Science and Technology. 24, 6, blz. 1-10 065016.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

8 Citaten (Scopus)
6 Downloads (Pure)

The temporal evolution of electrons in EUV-induced plasmas

Horst, van der, R. M., Beckers, J., Osorio, E. A. & Banine, V. Y., 28 jul 2015, Proceedings of the 32st International Conference of Plasmas and Ionized Gases.

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

Open Access
Bestand
28 Downloads (Pure)
2014

EUV lithography : historical perspective and road ahead

Banine, V. Y., 2014, Eindhoven: Technische Universiteit Eindhoven. 32 blz.

Onderzoeksoutput: Boek/rapportInaugurale redeAcademic

Open Access
Bestand
5452 Downloads (Pure)

Ion energies in EUV induced plasma: Measuring methods

Ven, van de, T. H. M., Beckers, J., Osorio, E. A., Banine, V. Y. & Kroesen, G. M. W., 2014.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

Open Access
Bestand
30 Downloads (Pure)

The electron density in an EUV-generated plasma

Horst, van der, R. M., Beckers, J., Nijdam, S., Osorio, E. A., Banine, V. Y. & Kroesen, G. M. W., 2014, Presentation at the CP3E, 27-5-2014, Veldhoven, The Netherlands.

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

2010

Characterization of ion emission of an extreme ultraviolet generating discharge produced Sn plasma

Gielissen, K., Sidelnikov, Y., Glushkov, D., Soer, W. A., Banine, V. Y. & Mullen, van der, J. J. A. M., 2010, In : Journal of Applied Physics. 107, 1, blz. 013301-1/7 7 blz., 013301.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
5 Citaten (Scopus)
79 Downloads (Pure)
2009

Gated pinhole camera imaging of the high-energy ions emitted by a discharge produced Sn plasma for extreme ultraviolet generation

Gielissen, K., Sidelnikov, Y., Glushkov, D., Soer, W. A., Banine, V. Y. & Mullen, van der, J. J. A. M., 2009, In : Journal of Applied Physics. 106, 8, blz. 083301-1/6 6 blz., 083301.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
83 Downloads (Pure)

Ion beam production at a EUV emitting discharge plasma

Gielissen, K., Sidelnikov, Y., Glushkov, D., Banine, V. Y., Koshelev, K. N. & Mullen, van der, J. J. A. M., 2009, Proceedings of the 21th NNV-Symposium Plasma Physics & Radiation Technology 2009, 3-4 March 2009, Lunteren, The Netherlands. Lunteren, The Netherlands, blz. O9-

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Lithographic apparatus and device manufacturing method

Herpen, van, M. W., Banine, V. Y., Kuster, de, J. P. H., Moors, R., Stevens, L. H. J., Wolschrijn, B. T., Sidelnikov, Y., Velden, van der, M. H., Soer, W. A., Stein, T. & Gielissen, K., 9 jul 2009, Octrooi Nr. US2009173360

Onderzoeksoutput: OctrooiOctrooi-publicatie

9 Downloads (Pure)

Particle cleaning of EUV reticles

Scaccabarozzi, L., Lammers, N. A., Moors, R. & Banine, V. Y., 2009, In : Journal of Adhesion Science and Technology. 23, 12, blz. 1603-1622

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

1 Citaat (Scopus)
1 Downloads (Pure)
2008

Influence of source parameters on the fast ionic debris emission of a Sn-based EUV emitting discharge plasma

Gielissen, K., Sidelnikov, Y., Soer, W. J., Herpen, van, M. W., Glushkov, D., Banine, V. Y. & Mullen, van der, J. J. A. M., 2008, Proceedings of the 20st Symposium Plasma Physics & Radiation Technology 2008, 4-5 March 2008, Lunteren, The Netherlands.

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Ion mitigation in SN-based EUV sources using a magnetic field

Soer, W. J., Gielissen, K., Herpen, van, M. W., Jak, M. & Banine, V. Y., 2008, blz. 25-.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

1 Downloads (Pure)

Laser shockwave cleaning of EUV reticles

Lammers, N. A., Scaccabarozzi, L., Banine, V. Y. & Mullen, van der, J. J. A. M., 2008.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

The characterization of the ion beam from a Sn-based DPP with respect to the ignition parameters

Gielissen, K., Sidelnikov, Y., Soer, W. J., Herpen, van, M. W., Glushkov, D., Banine, V. Y. & Mullen, van der, J. J. A. M., 2008, Proceedings of the International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography 2008 (2008 EUV Symposium), 28 September-1 October 2008, Lake Tahoe, USA.

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

The characterization of the ion beam from a Sn-based DPP with respect to the ignition parameters

Gielissen, K., Sidelnikov, Y., Soer, W. J., Herpen, van, M. W., Glushkov, D., Banine, V. Y. & Mullen, van der, J. J. A. M., 2008, Proceedings of the 23rd Symposium Plasma Physics & Radiation Technology 2008, 16-19 June 2008, Prague, Czech Republic. blz. 36-36

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

2007

Characterization and mitigation of debris from a Sn-based EUV source

Gielissen, K., Banine, V. Y., Koshelev, K. N. & Mullen, van der, J. J. A. M., 2007.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

Characterization of debris emitted from a Sn-based DPP EUV-source

Gielissen, K., Sidelnikov, Y., Banine, V. Y. & Mullen, van der, J. J. A. M., 2007, Abstract presented at the 6th International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography (2007 EUVL Symposium), 28-31 October, 2007, Sappora, Japan.

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Characterization of debris from an extreme UV emitting Sn-plasma

Gielissen, K., Banine, V. Y., Koshelev, K. N. & Mullen, van der, J. J. A. M., 2007, Abstract presented at the 19th Symposium Plasma Physics & Radiation Technology, 6-8 March 2007, Lunteren, The Netherlands.

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic

Debris-resistant liquid EUV mirrors

Soer, W., Herpen, van, M., Gielissen, K. & Banine, V. Y., 2007.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

2 Downloads (Pure)

Debris-resistant liquid EUV mirrors

Soer, W., Herpen, van, M., Gielissen, K. & Banine, V. Y., 2007.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

Monitoring optics contamination

Velden, van der, M. H. L., Sidelnikov, Y. V., Moors, J. H. J., Banine, V. Y. & Mullen, van der, J. J. A. M., 2007.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

2006

First performance results of the ASML alplia demo tool

Meiling, H., Meijer, H., Banine, V., Moors, R., Groeneveld, R., Voorma, H. J., Mickan, U., Wolschrijn, B., Mertens, B., van Baars, G., Kürz, P. & Harned, N., 10 jul 2006, Emerging Lithographic Technologies X. Lercel, M. (redactie). SPIE, 12 blz. 615108. (Proceedings of SPIE; vol. 6151).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

80 Citaten (Scopus)

Kinetic simulation of an extreme ultraviolet radiation driven plasma near a multilayer mirror

Velden, van der, M. H. L., Brok, W. J. M., Mullen, van der, J. J. A. M. & Banine, V. Y., 2006, In : Journal of Applied Physics. 100, 7, blz. 073303-1/7 073303.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
13 Citaten (Scopus)
97 Downloads (Pure)

Low energy sputtering

van der Velden, M. H. L., Allain, J. P., Banine, V. Y. & Mullen, van der, J. J. A. M., 2006, blz. B21-.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan congresPosterAcademic

1 Downloads (Pure)

Particle-in-cell Monte Carlo simulations of an extreme ultraviolet radiation driven plasma

Velden, van der, M. H. L., Brok, W. J. M., Mullen, van der, J. J. A. M., Goedheer, W. J. & Banine, V. Y., 2006, In : Physical Review E - Statistical, Nonlinear, and Soft Matter Physics. 73, 3, blz. 036406-1/6 6 blz., 036406.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
21 Citaten (Scopus)
148 Downloads (Pure)
2005

Characterization of a vacuum-arc discharge in tin vapor using time-resolved plasma imaging and extreme ultraviolet spectrometry

Kieft, E. R., Mullen, van der, J. J. A. M., Kroesen, G. M. W., Banine, V. Y. & Koshelev, K. N., 2005, In : Physical Review E - Statistical, Nonlinear, and Soft Matter Physics. 71, 2, blz. 026409-1/7 7 blz., 026409.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
28 Citaten (Scopus)
115 Downloads (Pure)

Comparison of experimental and simulated extreme ultraviolet spectra of xenon and tin discharges

Kieft, E. R., Garloff, K., Mullen, van der, J. J. A. M. & Banine, V. Y., 2005, In : Physical Review E - Statistical, Nonlinear, and Soft Matter Physics. 71, 3, blz. 036402-1/12 12 blz., 036402.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
32 Citaten (Scopus)
113 Downloads (Pure)

Subnanosecond Thomson scattering on a vacuum arc discharge in tin vapor

Kieft, E. R., Mullen, van der, J. J. A. M. & Banine, V. Y., 2005, In : Physical Review E - Statistical, Nonlinear, and Soft Matter Physics. 72, 2, blz. 026415-1/7 7 blz., 026415.

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
18 Citaten (Scopus)
106 Downloads (Pure)

Subnanosecond Thomson scattering setup for space and time resolved measurements with reduced background signal

Kieft, E. R., Groothuis, C. H. J. M., Mullen, van der, J. J. A. M. & Banine, V. Y., 2005, In : Review of Scientific Instruments. 76, 9, blz. 093503-1/6

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Open Access
Bestand
11 Citaten (Scopus)
84 Downloads (Pure)

Sub-ns Thomson scattering applied to an EUV emitting vacuum arc discharge in tin vapor

Kieft, E. R., Mullen, van der, J. J. A. M. & Banine, V. Y., 2005, Proceedings of the 27th International Conference on Phenomena in Ionised Gases (XXVII ICPIG 2005) 17-22 July 2005, Eindhoven, the Netherlands. Veldhuizen, van, E. M. (redactie). Eindhoven: Eindhoven University of Technology, blz. 08-343-1/5

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

2004

Active and passive spectroscopy on EUV-producing discharge plasmas

Kieft, E. R., Mullen, van der, J. J. A. M., Kroesen, G. M. W., Banine, V. Y. & Koshelev, K. N., 2004, In : High Temperature Material Processes. 8, 1, blz. 149-160

Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschriftTijdschriftartikelAcademicpeer review

Active and passive spectroscopy on EUV-producing discharge plasmas

Kieft, E. R., Mullen, van der, J. J. A. M., Kroesen, G. M. W., Banine, V. Y. & Koshelev, K. N., 2004, E-MRS Spring Meeting 2004, Strasbourg, France, May 24 – 28, 2004.

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademic