Thijs Janssen - Onderzoeksoutput - Onderzoeksportaal Eindhoven University of Technology

E-mailt.janssentuenl

6

Citaties

Onderzoeksresultaten per jaar

2 Tijdschriftartikel

2 resultaten

Filter

2025
Topographically selective atomic layer deposition within trenches enabled by an amorphous carbon inhibition layer
Janssen, T., Vossen, L. J. P., Verheijen, M. A., Kessels, W. M. M. & Mackus, A. J. M. (Corresponding author), 10 feb. 2025, In: Applied Physics Letters. 126, 6, 6 blz., 063505.
Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Tijdschriftartikel › Academic › peer review

Open Access
Bestand
28 Downloads (Pure)
2024
In situ formation of inhibitor species through catalytic surface reactions during area-selective atomic layer deposition of TaN
Merkx, M. J. M., Tezsevin, I., Yu, P., Janssen, T., Heinemans, R. H. G. M., Lengers, R. J., Chen, J. R., Jezewski, C. J., Clendenning, S. B., Kessels, W. M. M., Sandoval, T. E. (Corresponding author) & Mackus, A. J. M. (Corresponding author), 28 mei 2024, In: Journal of Chemical Physics. 160, 20, 9 blz., 204701.
Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Tijdschriftartikel › Academic › peer review

Open Access
Bestand
6 Citaten (Scopus)

44 Downloads (Pure)