!!Projects per year
Vingerafdruk
Verdiep u in de onderzoeksgebieden waarop Thijs Janssen actief is. Deze onderwerplabels komen uit het werk van deze persoon. Samen vormen ze een unieke vingerafdruk.
- 1 Soortgelijke profielen
Samenwerkingen en hoofdonderzoeksgebieden uit de afgelopen vijf jaar
Recente externe samenwerking op landen-/regioniveau. Duik in de details door op de stippen te klikken of
Projecten
- 1 Actief
-
TKI-HTSM/24.0176 - ASPEA: Atomic-Scale Processing Equipment for the Ångstrom Era
Mackus, A. J. M. (Project Manager), Macco, B. (Projectmedewerker), Kessels, W. M. M. (Projectmedewerker), Lam, C. H. X. (Projectmedewerker), van Gurp, M. C. (Projectmedewerker), Krieger, G. (Projectmedewerker), Janssen, T. (Projectmedewerker) & Trevisan, A. (Projectmedewerker)
1/01/24 → 31/12/29
Project: Third tier
Onderzoeksoutput
- 2 Tijdschriftartikel
-
Topographically selective atomic layer deposition within trenches enabled by an amorphous carbon inhibition layer
Janssen, T., Vossen, L. J. P., Verheijen, M. A., Kessels, W. M. M. & Mackus, A. J. M. (Corresponding author), 10 feb 2025, In: Applied Physics Letters. 126, 6, 6 blz., 063505.Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Tijdschriftartikel › Academic › peer review
Open AccessBestand4 Link wordt geopend op een nieuw tabblad Citaten (Scopus)104 Downloads (Pure) -
In situ formation of inhibitor species through catalytic surface reactions during area-selective atomic layer deposition of TaN
Merkx, M. J. M., Tezsevin, I., Yu, P., Janssen, T., Heinemans, R. H. G. M., Lengers, R. J., Chen, J. R., Jezewski, C. J., Clendenning, S. B., Kessels, W. M. M., Sandoval, T. E. (Corresponding author) & Mackus, A. J. M. (Corresponding author), 28 mei 2024, In: Journal of Chemical Physics. 160, 20, 9 blz., 204701.Onderzoeksoutput: Bijdrage aan tijdschrift › Tijdschriftartikel › Academic › peer review
Open AccessBestand9 Link wordt geopend op een nieuw tabblad Citaten (Scopus)170 Downloads (Pure)
Datasets
-
Supporting information
Merkx, M. J. M. (Ontwerper), Tezsevin, I. (Ontwerper), Yu, P. (Ontwerper), Janssen, T. (Ontwerper), Heinemans, R. H. G. M. (Ontwerper), Lengers, R. J. (Ontwerper), Chen, J.-R. (Ontwerper), Jezewski, C. J. (Ontwerper), Clendenning, S. B. (Ontwerper), Kessels, W. M. M. (Ontwerper), Sandoval, T. E. (Ontwerper) & Mackus, A. J. M. (Ontwerper), AIP Publishing, 22 mei 2024
DOI: 10.60893/figshare.jcp.25743183, https://aip.figshare.com/articles/dataset/Supporting_information/25743183 en nog één link, https://aip.figshare.com/articles/dataset/Supporting_information/25743183/1 (minder tonen)
Dataset