• 133 Citaties
20152020

Research output per year

Als u wijzigingen in Pure hebt gemaakt, zullen deze hier binnenkort zichtbaar zijn.

Onderzoeksoutput

  • 133 Citaties
  • 10 Tijdschriftartikel
  • 1 Conferentiebijdrage
  • 1 Dissertatie 1 (Onderzoek TU/e / Promotie TU/e)
Filter
Conferentiebijdrage
2018

Controlling mechanical, structural, and optical properties of Al2O3 thin films deposited by plasma-enhanced atomic layer deposition with substrate biasing

Beladiya, V., Faraz, T., Kessels, W. M. M., Tünnermann, A. & Szeghalmi, A., 1 jan 2018, Advances in Optical Thin Films VI. SPIE, 106910E. (Proceedings of SPIE; vol. 10691).

Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/CongresprocedureConferentiebijdrageAcademicpeer review

1 Downloads (Pure)