Onderzoeksoutput per jaar
Onderzoeksoutput per jaar
- 1 resultaten
Zoekresultaten
-
2024
Particle mobilization by EUV-induced plasma and fast electrons
van de Kerkhof, M., Shefer, D., Nikipelov, A., Sbrizzai, F., Kvon, V., Bouwmans, S., Beckers, J. & Banine, V., 10 apr. 2024, Optical and EUV Nanolithography XXXVII. Burkhardt, M. & van Lare, C. (uitgave). SPIE, 10 blz. 129530E. (Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering; vol. 12953).Onderzoeksoutput: Hoofdstuk in Boek/Rapport/Congresprocedure › Conferentiebijdrage › Academic › peer review